反射镜和抛光板
具有平面或球面的反射镜和板是大多数光学装置的基本部分。镜子用来使光束偏转或聚焦。抛光板可以用作窗户、分束器或标准子。
下面介绍了决定反射镜和反射板质量的一些重要参数。
外形偏差
形状偏差公差定义了实际表面相对于理想形状(平面或球体)的允许差值。在光学中，公差通常以波长λ为单位(例如λ/4)。要将此规格转换为长度单位，必须知道参考波长λref。除非另有说明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目录中的规格均参考波长为λrefnm。
形状偏差规范的另一个参数是用来评估测量数据的方法。在这方面，极值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在计算PV值时，只考虑偏差最大的位置，而RMS值表征了整个表面的平均偏差。这两种值都有其使用动机。除非另有说明，否则在本目录中为PV偏差指定的值。虽然在PV和RMS偏差之间没有一般的关系，但对于实际发生的大多数表面，可以假设RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)对应λ/30-λ/50 (RMS)。
本目录中指定的表格偏差至少适用于90%的区域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一个较小的部分，相应的形状偏差将大大降低。
微粗糙度
微粗糙度描述的是表面与横向尺寸的偏差已达到或更低的波长(i.e. typ. <1µm)。这些偏差主要是造成散射光的原因。
微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq来表示。我们车间使用的抛光技术可以得到 Rq <1nm (typ. Rq <0,5 nm).
球面凹面镜基板
基板用于制造凹面镜。
我们提供硼硅酸盐玻璃(Duran)或玻璃陶瓷(Zerodur)基板。Duran是更经济的版本，其表面偏差为λ/4和λ/10。Zerodur具有较低的热膨胀系数，这使得该材料适用于表面偏差更低的反射镜(λ/10和λ/20)。
凹面镜的价格适用于1:10到1:3的孔径比(直径比焦距)。可行的焦距由可用的半径工具确定。
基材本身不涂覆。要用作高反射镜，必须涂上适合所需波长范围的涂层。
球面凹面镜基板产品规格
| material | Duran | Zerodur |
| flatness | <λ/4 othe <λ/10 | <λ/10 othe <λ/20 |
| coefficient of thermal expansion | 3·10-6/K | <0,15·10-6/K |
| rear and edge surface | fine ground (opaque) | fine ground (opaque) |
球面凹面镜基板标准尺寸
| Diameter mm | thickness mm | Art. No. λ/4 Duran | Art. No. λ/10 Duran | Art. No. λ/10 Zerodur | Art. No. λ/20 Zerodur |
| 10 | 2 | SHD 4.010 | SHD 1.010 | SHZ 1.010 | SHZ 2.010 |
| 20 | 3 | SHD 4.020 | SHD 1.020 | SHZ 1.020 | SHZ 2.020 |
| 25 | 4 | SHD 4.025 | SHD 1.025 | SHZ 1.025 | SHZ 2.025 |
| 30 | 4 | SHD 4.030 | SHD 1.030 | SHZ 1.030 | SHZ 2.030 |
| 40 | 5 | SHD 4.040 | SHD 1.040 | SHZ 1.040 | SHZ 2.040 |
| 50 | 7 | SHD 4.050 | SHD 1.050 | SHZ 1.050 | SHZ 2.050 |
| 60 | 8 | SHD 4.060 | SHD 1.060 | SHZ 1.060 | SHZ 2.060 |
| 70 | 10 | SHD 4.070 | SHD 1.070 | SHZ 1.070 | SHZ 2.070 |
| 80 | 12 | SHD 4.080 | SHD 1.080 | SHZ 1.080 | SHZ 2.080 |
| 100 | 15 | SHD 4.100 | SHD 1.100 | SHZ 1.100 | SHZ 2.100 |
| 120 | 16 | SHD 4.120 | SHD 1.120 | SHZ 1.120 | SHZ 2.120 |
| 150 | 20 | SHD 4.150 | SHD 1.150 | SHZ 1.150 | SHZ 2.150 |
| 180 | 24 | SHD 4.180 | SHD 1.180 | SHZ 1.180 | SHZ 2.180 |
| 200 | 27 | SHD 4.200 | SHD 1.200 | SHZ 1.200 | SHZ 2.200 |
| 250 | 33 | SHD 4.250 | SHD 1.250 | SHZ 1.250 | SHZ 2.250 |
Duran曲面偏差λ/4产品编码
SHD 4.020
SHD 4.025
SHD 4.030
SHD 4.040
SHD 4.050
SHD 4.060
SHD 4.070
SHD 4.080
SHD 4.100
SHD 4.120
SHD 4.150
SHD 4.180
SHD 4.200
SHD 4.250
Duran曲面偏差λ/10产品编码
SHD 1.020
SHD 1.025
SHD 1.030
SHD 1.040
SHD 1.050
SHD 1.060
SHD 1.070
SHD 1.080
SHD 1.100
SHD 1.120
SHD 1.150
SHD 1.180
SHD 1.200
SHD 1.250
Zerodur表面偏差λ/10产品编码
SHZ 1.020
SHZ 1.025
SHZ 1.030
SHZ 1.040
SHZ 1.050
SHZ 1.060
SHZ 1.070
SHZ 1.080
SHZ 1.100
SHZ 1.120
SHZ 1.150
SHZ 1.180
SHZ 1.200
SHZ 1.250
Zerodur表面偏差λ/20产品编码
SHZ 2.020
SHZ 2.025
SHZ 2.030
SHZ 2.040
SHZ 2.050
SHZ 2.060
SHZ 2.070
SHZ 2.080
SHZ 2.100
SHZ 2.120
SHZ 2.150
SHZ 2.180
SHZ 2.200
SHZ 2.250
