铝:未来UHV/XHV应用材料 Aluminum: The future material for UHV/XHV applications AluVaC®

铝:AluVaC® 未来UHV / XHV应用的材料

工业过程以及研究和开发,例如加速器技术或EUV技术,都越来越需要更清洁,更好的真空。使用普通的不锈钢技术
产生超高真空(UHV,p <1·10 -07 mbar)和极高真空(XHV,p <1·10 -11 mbar)是非常耗能,费时的,因此产生高额的费用。比较最常见的材料不锈钢和铝。

AluVaC ® -铝- CF部件UND真空室

AluVaC®-铝-CF组件和真空室。

由于其有希望的特性,铝被广泛的宣称是真空室制造领域以及UHV和XHV真空技术领域中的未来材料。长期稳定使用已经过充分测试。同时,许多企业,机构和运营商是喜欢使用AluVaC的® -components。

多种材料特性节省成本

VACOM现在将铝CF组件和腔室(AluVaC®)的生产添加到其产品组合中。特别是对于超高压和XHV的深压力范围内的真空应用,铝与不锈钢相比具有许多优势。

  • 铝的自然脱气率低-q A <2·10 -14 mbar·l / s / cm 2
  • 通过120°C [393 K]的温度进行节能烘烤程序(对于不锈钢,请参见200 – 450°C [473 – 723 K])
  • 通过更快的抽空时间实现高效率的工作
  • 低磁导率的腔室和零件的制造(µr = 1,00002)
  • 通过最小的重量在处理方面的优势

优质,耐用且可烘烤的铝质组件,带CF刀刃

带有CF刀刃的AluVaC®组件与常见的不锈钢组件兼容

VACOM完全用铝合金加工CF连接,而无需额外的涂层或一定量的不锈钢。6xxx铝合金的机械强度允许根据ISO-3669制造耐用的CF刀刃。

通过使用退火铜的垫片AluVaC ®刀刃设计用于耐用长期使用。甚至必要的120°C [393 K]烘烤温度也不会对刀刃的稳定性产生可验证的影响。我们的研究揭示出极低脱气AluVaC ® -components保持它们的功能到热峰值负载直到180℃[453 K]的峰值温度(见白皮书3)。

此外,所有AluVaC ®与CF-刀刃-components与普通不锈钢组件兼容!


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