覃工 电话：15821107090

VacCoat DST1-300 高真空磁控溅射镀膜仪 ——英国VacCoat原装进口，实验室桌面式精密镀膜解决方案

VacCoat DST1-300 高真空磁控溅射镀膜仪

——英国VacCoat原装进口，实验室桌面式精密镀膜解决方案

咨询热线 15821107090

🔬 产品概述

DST1-300 是英国VacCoat公司旗下一款高真空单磁控管靶台式溅射镀膜系统。凭借涡轮分子泵高真空技术和600W直流/300W射频双模式溅射能力，可在短时间内制备晶粒细小、均匀致密的高质量薄膜。机身紧凑（占地面积＜0.25m²），是空间受限实验室、超净间和共享仪器平台的理想之选。

VacCoat拥有25年以上真空镀膜与薄膜沉积技术经验，产品远销全球多所大学与研究中心，口碑卓著。

⚙️ 核心技术参数

参数规格
型号DST1-300
品牌/产地VacCoat / 英国
真空腔体圆柱形Pyrex耐热玻璃，Φ300mm × H200mm
极限真空度≤ 7×10⁻⁷ Torr（≤ 5×10⁻⁷ mbar）
抽真空系统内置莱宝（Leybold）涡轮分子泵 90 L/s（可选350 L/s）+ 两级旋片泵/隔膜泵前级
溅射模式DC直流溅射（600W）+ RF射频溅射（300W，选配，带自动匹配器）
磁控阴极2/3/4英寸水冷磁控靶（可选升级）
可镀材料Au、Pt/Pd、Ag、Cr、W、Ir等金属；TiO₂、ZnO、Al₂O₃、SiO₂等氧化物与介电材料
样品台旋转台（标准），高度与倾角可调；支持样品偏压、加热（最高500°C）、旋转（0-60 rpm）
厚度监控石英晶体监测仪，精度1nm，分辨率1Å
操控界面7英寸彩色触摸屏，全自动化控制
数据存储可存储最近300次镀膜工艺记录
外形尺寸580 × 500 × 630 mm（H × W × D）
电源220V/110V，50/60Hz，2kW
整机重量约50kg
认证CE认证，符合EN 61000-6-2/6-3电磁兼容标准

✨ 核心优势

1. 洁净真空，无油污染 内置涡轮分子泵+无油前级泵组合，彻底杜绝传统扩散泵的油蒸汽污染，保障薄膜纯度与高分辨率成像质量。

2. DC+RF双模式，材料兼容广泛 直流模式适用于Au、Pt、Cr等导电靶材；射频模式可沉积SiO₂、Al₂O₃等绝缘介质膜——一台设备满足几乎所有实验室镀膜需求。

3. 超大腔体，样品适配性强 300mm直径大腔体可容纳直径达15cm的大尺寸样品或多件小样品同时镀膜，支持SEM样品座（≤32mm）、TEM载网（3.05mm）及定制夹具。

4. 无限溅射时间，厚膜沉积无忧 突破常规设备的时间限制，适合需要厚膜沉积的研究应用。

5. 智能触控，操作零门槛 7英寸彩色触摸屏，预置多种工艺模板（如”Au/Pd 2nm for SEM”、”Cr 5nm for EBSD”），新手也能快速上手。支持工艺配方存储与调用，保障实验可重复性。

6. 多功能扩展

  • GLAD掠入射角沉积溅射（选配行星旋转样品台）
  • 等离子清洗功能
  • 热蒸发附件（碳丝/舟/棒），单次真空循环内实现溅射+蒸发双模式沉积
  • 数据CSV/XML导出，支持LIMS系统集成

🎯 应用领域

  • EDS/WDS/EBSD分析前处理：超薄Cr/Ti附着层+Au镀层，提升分析精度
  • 微纳电子器件：薄膜晶体管、传感器、电极制备
  • 太阳能电池：TCO透明导电膜、吸收层沉积
  • 光学元件镀膜：增透膜、反射膜、滤光膜
  • 磁性薄膜与存储器件：磁记录介质、自旋电子学研究
  • 薄膜传感器与催化剂：功能薄膜研发与小批量制备
  • 碳复型TEM分析：金属断口、金相组织的复型制备

📦 标准配置清单

  • 主机（含真空腔体、涡轮分子泵、前级泵）
  • 600W直流电源
  • 全量程真空计（Leybold）
  • 石英晶体厚度监测仪
  • 旋转样品台（高度/角度可调）
  • 7英寸彩色触摸屏控制系统
  • 电子快门
  • 电子气阀
  • USB数据导出接口

可选配件： RF射频电源及自动匹配器 | 基片偏压 | 基片加热器（最高500°C）| 热蒸发舟/篮 | 行星旋转样品台 | 等离子清洗器 | 4英寸磁控管升级 | 备用玻璃腔体 | 各类溅射靶材 | 密封垫圈


DST1-300 SEM/FE-SEM/TEM样品制备 VacCoat

Related posts