VAC COAT · 英国原装进口
DST1-170 高真空磁控溅射镀膜仪
High Vacuum Desk Sputter Coater · DST1-170
✦ 为SEM/TEM样品制备而生的高性价比桌面级镀膜系统 ✦
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📖 产品概述
DST1-170 是英国 VacCoat 公司推出的一款高真空单磁控管台式溅射镀膜系统，专为 扫描电子显微镜（SEM）样品制备设计。内置 90 L/s 莱宝涡轮分子泵， 采用 2英寸磁控管阴极 + 80W 开关直流电源，可在快速循环周期内沉积 Au、Pt/Pd、Ag、Cr、W、Ir 等多种氧化性与非氧化性材料，制备晶粒细小、均匀致密的高质量薄膜。
💡 VacCoat 拥有 28 年真空镀膜与薄膜沉积技术经验，研发团队由学术科学家与资深工程师组成， 产品已服务于全球众多顶尖高校与科研机构，经销商网络遍布世界 15 个国家。
⚙️ 核心技术参数
| 型号 | DST1-170 |
|---|---|
| 品牌 / 产地 | VacCoat / 英国 |
| 真空腔体 | 硼硅酸盐玻璃（Pyrex），Φ170mm × H50mm（不锈钢加高版 H90mm） |
| 极限真空度 | < 5×10⁻⁶ Torr |
| 溅射工作真空 | 5×10⁻² ~ 5×10⁻³ Torr |
| 抽真空系统 | 内置莱宝（Leybold）涡轮分子泵 90 L/s + 两级旋片泵（可选隔膜泵/涡旋泵） |
| 电源 | 80W 开关直流电源 |
| 磁控阴极 | 1 个 2 英寸磁控管（可选水冷阴极，支持长时间沉积） |
| 靶材尺寸 | 1 片，直径 50~56mm，厚度 0.1~3mm（推荐 < 1mm） |
| 厚度监测 | 石英晶体厚度计（镀银晶振），精度 ±1nm，分辨率 ±1Å |
| 样品台 | 标准旋转台 Φ60mm：可装 23×9.6mm / 14×12.7mm / 5×19mm 样品座 选配 Φ100mm 偏置齿轮箱样品台：可装 40×12.7mm 样品座 高度与倾角可调，支持行星旋转台（选配） |
| 最大基片尺寸 | 4 英寸 |
| 操控界面 | 7 英寸彩色触摸屏（800×480 TFT-LCD），全自动控制 |
| 数据管理 | 存储最近 300 次镀膜记录，USB 端口导出数据与曲线图至 PC |
| 工作气体 | 氩气（纯度 99.999%），电子阀门控制 |
| 电子快门 | 1 个 |
| 电源输入 | 220V/110V，50/60Hz，单相交流 |
| 外形尺寸 | 420 × 620 × 480 mm（H × W × D） |
| 整机重量 | 36 kg |
✨ 六大核心优势
1洁净真空 · 无油污染
内置 90 L/s 涡轮分子泵 + 无油前级泵组合，彻底杜绝传统扩散泵的油蒸汽污染，保障薄膜纯度与高分辨率成像质量。
2细晶粒 · 高质量薄膜
可调节镀膜速率获得更细晶粒结构，均匀致密的薄膜适用于 FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSD 等高分辨表征。
3智能触控 · 零门槛操作
7 英寸彩色触摸屏，全自动控制与快速数据输入，真空度、电流、沉积信息以数字或曲线实时显示，新手也能轻松上手。
4工艺可复现 · 数据可追溯
预置工艺配方存储，自动模式可编程重复溅射；最近 300 次镀膜记录保存在历史页面，支持 USB 导出至 PC 分析。
5样品兼容性强
标准 Φ60mm 旋转台可一次装载 23 个样品座；选配 Φ100mm 大台可装 40 个样品座，大幅提升批量制备效率。
6可选功能丰富
支持 GLAD 掠入射角沉积、辉光放电等离子清洗（TEM 载网亲水处理）、行星旋转台、热蒸发附件等多重扩展。
🎯 应用领域
SEM扫描电镜样品导电镀膜
FE-SEM场发射电镜细晶粒镀膜
TEM透射电镜载网镀膜与亲水处理
EDS/WDS能谱/波谱分析前处理
EBSD电子背散射衍射镀膜
Nano纳米与微电子薄膜应用
Solar太阳能电池制造
Optics光学元件镀膜
Sensor薄膜传感器开发
Magnetic磁性薄膜器件
📦 标准配置清单
- DST1-170 主机（含真空腔体、内置 90 L/s 涡轮分子泵、前级泵）
- 2 英寸磁控管阴极 × 1
- 80W 开关直流电源
- 全量程真空计（莱宝 Ionivac 型号）
- 石英晶体厚度监测仪（精度 ±1nm / 分辨率 ±1Å）
- 标准旋转样品台（Φ60mm，高度/角度可调）
- 7 英寸彩色触摸屏控制系统
- 电子快门 × 1、氩气电子泄漏阀
- ISO-KF 63 蝶阀
- USB 数据导出接口
🔧 可选配件
- RF 射频电源及自动匹配器
- 基片偏压
- 基片加热器（最高 500°C）
- 水冷磁控阴极（长时间沉积）
- 行星旋转样品台（多孔样品均匀镀膜）
- Φ100mm 大尺寸样品台（40 样品位）
- 辉光放电等离子清洗器
- 热蒸发舟/篮/碳丝附件
- 玻璃/不锈钢加高真空腔体
- 各类溅射靶材与密封垫圈
