Thermionics 真空操作台 线性操作台 二维操作台 三维操作台 机械手 真空三维机构 真空样品台
FM系列复合精密机械手是使用两个波纹管的XYZ单元。XY波纹管内径为2.5英寸，3英寸和4英寸，这是标准配置，内径可能达到6.3英寸内径。这些单位可提供±0.5“或±1”的X和Y行程。它们可以提供最大36英寸或更大的Z行程，标准的Z波纹管ID为1.39英寸和1.87英寸。
非旋转管状探针也可以在Z级基座的底部配备稳定的线性轴承。这样可以使探头组件更稳定，有效的“杠杆臂”更短。
该探头选件提供了一条无心，接地，空心的不锈钢管，该管穿过操纵器波纹管的中心延伸。该探头通过双面法兰安装在行进法兰上，可以轻松拆卸以进行设备安装。该管由安装在Z行驶系统底部的不锈钢线性轴承稳定。该轴承大大提高了探头的稳定性。
此外，可以将差动泵送的旋转密封件安装到这些机械手。它们为客户的设备提供了更大的旋转自由度。可以修改探针轴承，以允许探针极旋转以及极轴线性移动。该系统提供了一种出色的公用设施交付方法，而无需在真空中进行公用设施管线的移动。
技术指标
X和Y轴
- X和Y行程±0.5英寸或±1英寸，圆形，标准
- 预装千分尺级耦合，
- 0.0001英寸微米划分大的鼓式千分尺（公制千分尺可选）
- 所有XY轴承可调
Z轴
- 2英寸至36英寸Z行程
- 变速箱Acme驱动器，0.100英寸/圈（10圈/英寸）
- 0.001英寸刻度，预紧丝杠和蜗杆
- 位置锁定
- 扩展背架
基础法兰
- 6“ OD超高压基础法兰
游动法兰
- 2.75英寸外径行进法兰
特征
- 整个过程中均采用硬化不锈钢轴承和导向杆
- 最高烘烤温度：200°C
