特征:
- 优化的发射极和扫掠线圈组件
- 消除极靴–垂直安装的磁铁可减少磁通量
- 0-200 Hz扫描,可重复,均匀蒸发,无“隧道效应”和源材料爆发
- 精确稳定的蒸发速率低至1-2 A /秒
- 与传统的蒸发源相比,具有相同的体积,蒸发速率和功率,比传统蒸发源小35%
- 提供HV [2×10 -9 托]和UHV [2×10 -11 托]
- 顺序蒸发或共蒸发的理想选择
- 提供电源,坩埚衬垫和其他配件
楷模:
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单
— 7 cc至156 cc单坩埚/ 1个发射极– 6-20 kW
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单回转
— 7 cc至25 cc – 4坩埚/ 1发射器– 6和10 kW
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双胞胎™
— 10 cc,15 cc,40 cc – 2个坩埚/ 2个发射器– 10和15 kW
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Triad™
— 10 cc,15 cc,40 cc – 3个坩埚/ 3个发射器– 6和10 kW
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四面体
— 10 cc,15 cc,40 cc – 4个坩埚/ 4个发射器– 6和10 kW
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Hydra-1™
— 5个坩埚/ 1-3个发射器的单个阵列(有关更多详细信息,请参见下面的Hydra描述)
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Hydra-2™
—由5个坩埚/ 1-3个发射器组成的双阵列,总共10个坩埚/ 2-6个发射器(有关更多详细信息,请参见下面的Hydra描述)
汉克斯HM²电子枪的制造和保护受以下一项或多项专利保护:4,835,789;4,891,821;4,947,404
汉克斯HM²Hydra电子枪™
我们创新的HanksHM²Hydra设计包括一(1)或两(2)个紧凑的坩埚和发射器阵列,它们相互线性平移,可以同时共沉积多达六种不同的材料。
九头蛇配置对空间的有效利用允许六个坩埚的四(4)种不同组合,以及两种金属组合的多达42个排列,可在一次真空抽空中进行共沉积。
九头蛇消除了相邻源之间的相互作用,而无需复杂的波束方向和庞大的场分流组件。因此,共蒸发设计允许接近光源,以实现均匀的涂层和材料相互作用。此外,每个水源的单独水冷却可防止蒸汽积聚,并防止每个水源包含单独的扫管,并提高每个水源的运行参数与相邻水源的总体独立性。
Hydra-1和2规格
特征 | 10 kW型号 | 15 kW型号 |
最大功率 | 10千瓦 | 15千瓦 |
坩埚体积 | 10/15立方厘米 | 40毫升 |
发射电压 | 10 kV | 10 kV |
发射电流 | 0至1.0 A | 0至1.5 A |
灯丝 | 700瓦 | 700瓦 |
电子束偏转 | 220度 | 220度 |
束斑尺寸 | 直径.25英寸 | 直径.25英寸 |
蒸发速率 (对于铝) |
10 kW时1 gm / min 25厘米时3.6微米 |
在15 kW时最小1.5 gm / min 50,000Å分钟 |
X和Y扫描 | 超单融扫描(0-200 Hz) | 超Unimelt扫描(0-200 Hz) |
水 | 3.0 gpm /坩埚, 共同收益(最高30 gpm) |
3.0 gpm /坩埚, 共同收益(最高30 gpm) |
坩埚材料 | OFE铜 | OFE铜 |
烘烤温度 | 230°C(446°F(华氏度)) | 230°C(446°F(华氏度)) |
电子枪大小-单数组 | 6.25英寸x 5.5英寸x 15英寸 | 6.25英寸x 5.75英寸x 15英寸 |
电子枪大小-双数组 | 6.25吋x 11吋x 15吋 | 6.25吋x 11.5吋x 15吋 |
电源:
对于10 kW型号: 6kW + e-Gun™电源
对于15 kW型号:12kW e-Gun™电源