美国 Thermionics 电子枪 HM2-Hydra,多个发射极,多个坩埚

特征:

  • 优化的发射极和扫掠线圈组件
  • 消除极靴–垂直安装的磁铁可减少磁通量
  • 0-200 Hz扫描,可重复,均匀蒸发,无“隧道效应”和源材料爆发
  • 精确稳定的蒸发速率低至1-2 A /秒
  • 与传统的蒸发源相比,具有相同的体积,蒸发速率和功率,比传统蒸发源小35%
  •  提供HV [2×10 -9 托]和UHV [2×10 -11 托]
  • 顺序蒸发或共蒸发的理想选择
  • 提供电源,坩埚衬垫和其他配件

楷模:

  •  — 7 cc至156 cc单坩埚/ 1个发射极– 6-20 kW

  • 单回转

     — 7 cc至25 cc – 4坩埚/ 1发射器– 6和10 kW

  • 双胞胎™

     — 10 cc,15 cc,40 cc – 2个坩埚/ 2个发射器– 10和15 kW

  • Triad™ 

    — 10 cc,15 cc,40 cc – 3个坩埚/ 3个发射器– 6和10 kW

  • 四面体

    — 10 cc,15 cc,40 cc – 4个坩埚/ 4个发射器– 6和10 kW

  • Hydra-1™

     — 5个坩埚/ 1-3个发射器的单个阵列(有关更多详细信息,请参见下面的Hydra描述)

  • Hydra-2™

     —由5个坩埚/ 1-3个发射器组成的双阵列,总共10个坩埚/ 2-6个发射器(有关更多详细信息,请参见下面的Hydra描述)

汉克斯HM²电子枪的制造和保护受以下一项或多项专利保护:4,835,789;4,891,821;4,947,404

汉克斯HM²Hydra电子枪™

我们创新的HanksHM²Hydra设计包括一(1)或两(2)个紧凑的坩埚和发射器阵列,它们相互线性平移,可以同时共沉积多达六种不同的材料。

九头蛇配置对空间的有效利用允许六个坩埚的四(4)种不同组合,以及两种金属组合的多达42个排列,可在一次真空抽空中进行共沉积。

九头蛇消除了相邻源之间的相互作用,而无需复杂的波束方向和庞大的场分流组件。因此,共蒸发设计允许接近光源,以实现均匀的涂层和材料相互作用。此外,每个水源的单独水冷却可防止蒸汽积聚,并防止每个水源包含单独的扫管,并提高每个水源的运行参数与相邻水源的总体独立性。

Hydra-1和2规格

特征 10 kW型号 15 kW型号
最大功率 10千瓦 15千瓦
坩埚体积 10/15立方厘米 40毫升
发射电压 10 kV 10 kV
发射电流 0至1.0 A 0至1.5 A
灯丝 700瓦 700瓦
电子束偏转 220度 220度
束斑尺寸 直径.25英寸 直径.25英寸
蒸发速率
(对于铝)
10 kW时1 gm / min
25厘米时3.6微米
在15 kW时最小1.5 gm / min
50,000Å分钟
X和Y扫描 超单融扫描(0-200 Hz) 超Unimelt扫描(0-200 Hz)
3.0 gpm /坩埚,
共同收益(最高30 gpm)
3.0 gpm /坩埚,
共同收益(最高30 gpm)
坩埚材料 OFE铜 OFE铜
烘烤温度 230°C(446°F(华氏度)) 230°C(446°F(华氏度))
电子枪大小-单数组 6.25英寸x 5.5英寸x 15英寸 6.25英寸x 5.75英寸x 15英寸
电子枪大小-双数组 6.25吋x 11吋x 15吋 6.25吋x 11.5吋x 15吋

电源:

对于10 kW型号:  6kW + e-Gun™电源

对于15 kW型号:12kW e-Gun™电源


Related posts