FM系列复合精密机械手是使用两个波纹管的XYZ单元。XY波纹管的内径为2.5“,3”和4“,是标准的,内径可以达到6.3” ID。这些单元的X和Y行程为±0.5“或±1”。它们可以提供最大36“或更大的Z行程,Z型波纹管ID为1.39”和1.87“。
非旋转管状探针也可以在Z级基座的底部配备稳定的线性轴承。这导致探头组件更稳定,有效的“杠杆臂”更短。
该探头选件提供了一条无心的,空心的空心不锈钢管,该管穿过操纵器波纹管的中心延伸。该探头通过双面法兰安装在行进法兰上,可以轻松拆卸以进行设备安装。该管由安装在Z行驶系统底部的不锈钢线性轴承稳定。该轴承大大提高了探头的稳定性。
此外,可以将差动泵送的旋转密封件安装到这些机械手。它们为客户的设备提供了更大的旋转自由度。可以修改探针轴承,以允许探针极旋转以及极轴线性移动。该系统提供了一种出色的公用事业交付方法,而无需在真空中进行公用事业管线运动。
技术指标
X和Y轴
- ±0.5“或±1” X和Y行程,圆形,标准
- 预装千分尺级耦合,
- 0.0001“微米划分 大的鼓式千分尺(公制千分尺可选)
- 所有XY轴承可调
Z轴
- 2“至36” Z行程
- 变速箱Acme驱动器,0.100英寸/圈(10圈/英寸)
- 0.001英寸分隔,预装丝杠和蜗杆轴
- 位置锁定
- 扩展背架
基础法兰
- 6“ OD UHV基础法兰
游动法兰
- 2.75“外径行进法兰
特征
- 整个过程中均采用硬化不锈钢轴承和导向杆
- 最高烘烤温度:200°C
精确
轴 | 千分尺 刻度 |
解析度 | 重复性 | 反冲 | 调整 |
ž | 0.0005“ | <0.0005“ | 0.0005“ | 0.0007英寸 | 旋钮调整 |
XY | 0.0001“ | <0.0001“ | <0.00015“ | <0.00015“ | 大千分尺 |