美国Thermionics新型RCCS系列紧凑型电子枪™信号源

特征

• 3 kW（最大-5 kV）电子枪电源
• 完全屏蔽的发射极
• 兼容高真空（HV）和超高真空（UHV）
• 低放气
• 适用于薄膜和其他高精度沉积应用的高纯度蒸发。
• 无光束扫描，专为金属材料设计
• 信号源百叶窗（气动或手动）和高压馈通
• 直接更换K单元端口法兰
• 坩埚观看通道
• 紧凑型气源可转变为棒料气源

技术数据

• 安装法兰：4.5“ OD CF法兰或6” OD CF法兰
• 坩埚容量：2.24 cc或4 cc
• 灯丝类型：W线
• 最高烘烤温度：230°C（446°F）
• 工作压力：低于5 x 10-5托是最佳操作的理想选择
• 电子束偏转：270°
• 高压：-5 kV
• 光束电压：4,000 VDC
• 束电流：0-750 mA连续可变
• H2O要求：一（1）gpm（最小值）@ 16°C（60°F）
• 压差：最小25 psi。