特高压兼容
金属密封,完全兼容特高压,测得的基本压力:2 x 10 -11 托。
安装和配置
- 3 kW杆式电子枪可以在任何方向安装和操作,包括上下颠倒(取决于材料)
- 照片中所示的带杆电子枪可以通过2.5英寸外径管安装
- 可以选配包围电子枪的防冻罩
- 可以并排安装多个杆式电子枪
- 可提供定制设计,请咨询工厂
努森细胞置换
电子枪可以蒸发困难的材料,例如:碳,铌和硅。
杆式电子枪配有所有必要的实用工具和机械通孔,安装在4.5“ OD ConFlat安装法兰上,可以直接替代瓦里安/英特瓦克,珀金-埃尔默,里伯, EPI和VG系统。
请致电以讨论您的特定应用程序要求。
技术指标
特征 | 规格 |
运营压力 | 低于5 x 10 -5 托是最佳操作的理想选择。完全兼容特高压 |
束电压 | 4,000伏 |
束流 | 0–750 mA 连续可变 |
最大功率 | 3千瓦@ 4 kV |
冷却水 | 1/2加仑/分 |
最高烘烤 温度 |
230°C(446°F(华氏)) |
馈通 要求 |
两个7 kV 50 A |
坩埚体积 | 直径为1/4“或3/8”的杆 |
电子枪大小 | 直径2.25英寸x长2.95英寸 |
安装配置
每个电子枪都有三种标准安装配置:
- 电子枪安装在PyraFlat或ConFlat金属密封型法兰上,该法兰使用标准的OFE铜垫片
- 带有直径为1“的螺栓型安装座的电子枪,它通过直径为1”的孔安装,并通过压缩O形圈密封
- 没有安装法兰的单独电子枪
请在下订单时指定安装配置;费用 可能 不包括螺栓型或法兰型安装。
常规提供其他安装法兰,配置和几何形状,请致电工厂以获取更多信息。
订购信息
型号。 | 描述 |
---|---|
RCRF0325 | 仅限Rod-fed电子枪 |
RCRF0325 / SK | 带有所有公用,电气和机械馈通的杆式电子枪 |