SENS4 VDM-3陶瓷膜片大气压真空传感器
SENS4 VDM-3陶瓷膜片大气压真空传感器具有耐腐蚀的氧化铝膜片，该膜片会根据所施加的压力弯曲。核心压力传感器元件采用压阻式测量技术。该膜片传感器可以独立于气体类型或成分测量真空气体压力。除了绝对压力传感器外，集成式气压传感器测量环境压力并生成相对于环境压力的真空测量信号。这种相对于大气压力的测量使得在将真空系统排放到大气压力水平时能够精确控制压力。与通常使用油填充传感器元件的不锈钢压电真空传感器相比，SENS4 VDM-3陶瓷压电传感器元件是干净干燥的，消除了污染真空系统的风险。
电容式膜片式压力计的替代品
电容式膜片规是许多真空应用中用于先进过程的测量和控制的仪器。SENS4 VDM-3传感器是传统1000 Torr/mbar全量程电容式膜片规（CDGs）的经济实惠且紧凑的替代方案。
对于需要单独大气开关的应用，SENS4 VDM-3 可以将真空测量和大气开关功能整合到一个设备中。
为恶劣环境设计
SENS4 VDM-3 适用于需要在真空环境中工作的苛刻应用，可能含有腐蚀性气体和化合物。陶瓷氧化铝隔膜对许多溶剂和酸具有优异的耐腐蚀性。
SENS4 VDM-3传感器也可以选配聚对二甲苯（Parylene）保护层，以防止传感器材料受到腐蚀或氧化。聚对二甲苯是一种具有高度抗腐蚀和疏水性能的独特聚合物，特别设计用于医疗应用，如 freeze-drying 和医疗设备的过氧化氢等离子体灭菌。在存在宏观颗粒的真空系统和过程中，可选的保护挡板作为有效的屏障，防止污染物沉积在传感器膜片上。氧化铝传感器元件被设计为坚固耐用，能够承受瞬间通风和高达2 bar绝对压力（29 psia）的超压。
测量与控制高级真空过程
SENS4 VDM-3传感器提供了出色的性价比，并可用于监控和
在许多工业和科学应用中测量前真空压力。
SENS4 VDM-3 通过模拟和数字输出，为各种真空控制应用提供灵活性和精度。
模拟电压输出
模拟输出为外部压力读取或控制提供电压信号。
SENS4 VDM-3传感器提供多种预配置的模拟输出曲线，可无缝替换来自不同供应商的仪表。
此外，输出可以由用户配置为任意线性缩放。
