丹麦SENS4 A/S,真空测量产品,VPi-4 iVacSens™ 原厂模块,1E-6至10毫巴尔测量范围,UART 或 RS-485 数字接口,3个数字设定点用于过程控制目的

VPi-4 iVacSens™ 原厂吸尘器 换能器

MEMS Pirani传感器

广域MEMS Pirani传感器，用于测量范围为1.0E-6至10 mbar。

耐腐蚀性

可选的陶瓷或二烯传感器保护

iVacSens™ 系列真空传感器模块是全球最小的广域多功能真空计模块。它作为功能齐全的传统真空传感器，预先校准，随时可用。

iVacSens™设计用于无缝集成于真空下运行的高性能设备，非常适合质谱仪和扫描电子显微镜等应用。

iVacSens™利用了经过验证、创纪录的SmartPirani™微机系统热损失传感器，该传感器相比传统线Pirani计、对流计和传统MEMS Pirani传感器，提供了同级最佳性能、更宽广的测量范围和更高的精度。

领先的真空测量技术

VPi-4 iVacSens™ 配备了创纪录的 MEMS 热损失 Pirani 传感器，能够测量低至1.0E-6毫巴（7.5E-7 托）的压力。