丹麦SENS4 A/S,真空测量产品,VPM-4 SmartPirani™ lite,MEMS Pirani传感器
VPM-4 SmartPirani™ Lite换能器
MEMS Pirani传感器
广域MEMS Pirani传感器，用于测量范围为1.0E-6至10 mbar。
耐腐蚀性
VPM-4 SmartPirani™ Lite真空换能器基于尖端技术，提供同级最佳性能，并通过将热导率真空计的可用真空测量范围延长1至30年，确立了新的性能标准。
SmartPirani™利用先进的MEMS（微机电系统）传感器技术，集成了最先进的数字信号处理架构和创新的测量算法。结合精密的自动化制造和校准，这些元素打造出真正独特的产品，提供无与伦比的测量性能。SmartPirani™ Lite 专为真空开关功能设计，测量上限为10 mbar。对于大气压及更高范围的全范围测量，VPM-5 SmartPirani™ 传感器是首选。
领先的真空测量技术
VPM-4 SmartPirani™ Lite换能器性能卓越，将热导率真空计的可用测量范围扩展至1E-6年代，树立了真空测量的新标杆。
SmartPirani™换能器系列还包括全范围VPM-5 SmartPirani™，支持从2到1333毫巴的气体无关测量，以及VPM-7 SmartPirani™ ATM，额外提供大气切换功能。
支持在高要求应用中的应用
针对暴露于腐蚀性或侵袭性气体的应用，SmartPirani™配备有贴身保护涂层，作为有效的防护罩。
SmartPirani™换能器系列现提供可选的陶瓷或二烯保护屏障，以防止传感器材料的腐蚀和氧化。陶瓷是一种高度耐腐蚀的材料，广泛应用于真空传感器振膜的电容隔膜表中。蒍是一种独特的聚合物，具有卓越的耐腐蚀性和疏水特性，非常适合冷冻和灭菌等医疗应用。
在真空过程中，颗粒可能损坏计量表，SmartPirani™换能器配备保护挡板以阻挡宏观颗粒。结合保护涂层选项，这些新型SmartPirani™换能器专为在恶劣真空环境中提供可靠性能而设计。
测量与控制先进真空工艺
VPM-5 SmartPirani™专为实现顶尖的真空气体压力测量与控制而设计。多种输出选项不仅提供压力测量信号。
模拟输出
模拟输出电压为外部读出或控制提供信号。VPM-4 标准输出电压为 1VDC/十十年毫巴尔、托尔或帕斯卡尔。
此外，它还可以通过用户配置或预先订购，配备大量其他模拟输出选项，从而实现对其他厂商的仪表的直接替换。
Connect Digital
RS-232和RS-485串行接口可用于将压力和温度测量数据传输到外部设备。
数字接口支持诊断、预测性维护、维护、校准、设定点配置、模拟输出缩放以及实时真空压力测量以实现屏幕可视化。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于外部控制泵、阀门、安全互锁电路及其他外部设备。
与机电继电器相比，固态继电器提供更优的可靠性和更快的切换时间，同时提供无电弧接触，且在切换时不会产生电磁干扰（EMI）。
SmartPirani™继电器设计耐用，获得UL认证、CSA认证及EN/IEC 60950-1认证，确保在关键真空过程和高周期应用中实现最大可靠性。
