丹麦 SENS4 VDM-5 DiCAP™ 双膜片传感器,真空计
SENS4 VDM-5 DiCAP™ 双膜片传感器
5×10-3 至 1333 mbar / 3.75×10-3 至 1000 Torr / 5×10-2 至 1.333×105 Pa
SENS4电容和压电隔膜组合传感器
- 测量范围为 5×10-3 至 1333 mbar（3.75×10-3 至 1000 Torr）
- 不依赖气体的隔膜传感器
- 陶瓷电容膜片真空计和压电膜片
- 可安装在任何方向，而不会影响性能。
- 可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于真空过程控制的三个固态设定点
- 适用于腐蚀性环境的可选聚对二甲苯传感器涂层
- 经济实惠的紧凑型多传感器解决方案
SENS4 VDM-5 传感器为各种真空应用提供一体化测量解决方案，树立了新标准。它与任何其他真空计的不同之处在于，它提供从 5.0E-3 到 1333 mbar 的整体经济高效的不受气体影响的测量
在气体成分或类型可能发生变化的真空应用中，传统的气体依赖型皮拉尼真空计会导致测量结果与实际压力产生偏差。VDM-5 传感器使用精密电容隔膜计 （CDG） 传感器，该传感器消除了对气体的依赖性，并在气体特性发生变化时也能提供准确的测量。
集成的热损失 MEMS 皮拉尼传感器将测量范围扩展到 1E-6 mbar，并为电容压力计提供了一种新颖的自动零点调整功能，消除了传统电容隔膜表手动调零的常见需求。
可在恶劣环境中使用
SENS4 VDM-5 还可用于可能存在腐蚀性和介质的严苛真空应用。
不仅适用于半导体行业的清洁氮气通风负载锁定应用，还适用于可能存在颗粒和腐蚀性介质的应用。对于传感器可能暴露于腐蚀性或腐蚀性气体中的应用，SENS4 SmartPirani™ 可提供保形保护涂层作为有效的屏障。
根据实际应用，SENS4 VDM-5 传感器系列提供可选的陶瓷或聚对二甲苯保护屏障，以防止传感器材料的腐蚀或氧化。
陶瓷具有很强的耐腐蚀性，是电容式隔膜表中真空传感器隔膜的成熟材料。
聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性，专为医疗器械的冻干和氢过氧化物等离子体灭菌等医疗应用而设计。
在真空系统和过程中，真空传感器可能容易受到颗粒物的损坏，SENS4 VDM-5 DiCap™ 传感器配有保护挡板，可作为防止宏观颗粒的有效屏障。结合这些保护涂层选项，SENS4 DiCAP™ 传感器装备精良，可应对具有挑战性的真空环境。
