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VPM-5 SMARTPIRANI™ 宽量程真空传感器
1×10-6 至 1333 mbar / 7.5×10-7 至 1000 Torr / 1×10-4 至 1.333×105 Pa
下一代 MEMS 皮拉尼传感器
- 测量范围为 1×10-6 至 1333 mbar（7.5×10-7 至 1000 Torr）
- 超宽范围高性能 MEMS 皮拉尼传感器
- 无与伦比的性价比
- 2 至 1333 mbar 的精确气体非依赖型测量
- 可安装在任何方向，而不会影响性能。
- 可编程电压输出信号，可与其他供应商仿真
- 数字 RS-232 或 RS-485 接口
- 用于真空过程控制的三个固态设定点
- 用于腐蚀性应用的可选陶瓷或聚对二甲苯传感器保护
- MKS 925 MicroPirani™ 和 910 的直接替代品
- 坚固、紧凑的不锈钢法兰和外壳设计
VPM-5 SmartPirani™ 真空传感器基于尖端技术，提供一流的性能，并将热导式真空计的可用真空测量范围延长了 1-3 个数量级，从而建立了新的性能标准。
SmartPirani™ 真空测量传感器采用尖端的 MEMS（微机电系统）传感器技术，并结合了新颖的精密数字信号处理架构和只有 Sens4 才能提供的先进创新测量算法。结合精密的自动化制造和校准过程，这款独特的产品提供了无与伦比的测量性能。
通过集成 MEMS 隔膜传感器，消除了热导率计粗真空范围内众所周知的气体依赖性，该传感器的精度性能可与更昂贵的电容压力计相媲美。此功能可确保更精确地控制真空系统的排气过程，并防止真空系统过压。
无与伦比的范围和精度
与其他供应商的传统线皮拉尼和 MEMS 皮拉尼传感器相比，SmartPirani™ 的基本精度和动态范围更胜一筹。在某些应用中，超宽的测量范围消除了对额外昂贵的高真空电离计的需求。
可编程传感器设置和参数
传感器设置和参数可通过创新的 S4-Connect™ 数字通信接口从 PC 或智能手机进行编程。带有 RS-232 或 RS-485 串行接口的传感器可以通过串行接口或 S4-Connect™ 接口进行配置。数字界面支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出缩放和实时真空压力测量采集，以实现屏幕可视化。S4-Connect™ USB 编程器与免费、直观的配置软件相结合，是用于传感器编程、实时测量和诊断的即插即用解决方案。
可用于要求苛刻的应用
对于传感器可能暴露于腐蚀性或腐蚀性气体中的应用，SmartPirani™ 可提供保形保护涂层，作为有效的屏障。
根据应用的不同，SmartPirani™ 传感器系列现在可选配陶瓷或聚对二甲苯保护屏障，防止传感器材料腐蚀或氧化。
陶瓷具有很强的耐腐蚀性，是电容式隔膜表中真空传感器隔膜的成熟材料。
聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度的耐腐蚀性和疏水性。聚对二甲苯阻隔层专为医疗应用而设计，包括但不限于冻干和灭菌。
在某些真空过程中，颗粒会损坏真空计，对于这些应用，SmartPirani™ 传感器配有保护挡板，作为宏观颗粒的屏障。
结合保护涂层选件，新型 SmartPirani™ 传感器适用于恶劣的真空环境.
