进口代理SENS4 VPM-7-40101232真空,真空气体压力测量和控制
SENS4 VPM-7 SmartPirani™ ATM传感器专为半导体负载锁精确压力控制和其他需要相对于大气环境压力的准确压力测量的真空应用而设计。
它提供了同类中最好的性能，具有更宽的测量范围、更高的精度和比传统负载锁传感器更快的测量周期，以及其他负载锁传感器解决方案。
SENS4 SmartPirani™ ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可使用测量范围扩展1-3个数量级，已经建立了新的标准。
SENS4一体化多传感器真空计解决方案
SENS4 VPM-7 是一款真正的多传感器真空计，具备四路压力输出：大气压环境传感器、宽量程热损失型皮拉尼传感器、绝对电容薄膜传感器，以及一个相对大气压的信号输出。这些传感器协同工作，可在现代装载锁真空室中优化实现精确的压力控制。其中，电容薄膜传感器可提供与气体种类无关的精密绝对压力读数，量程为 2 至 1333 mbar（1.5 至 1000 Torr）。
SENS4 VPM-7真空计规格：
