丹麦SENS4 VDM-2陶瓷压电隔膜传感器
SENS4 VDM-2 陶瓷膜片真空传感器 提供高精度 真空压力测量，使用坚固且 耐腐蚀的氧化铝膜片，该膜片根据施加的压力成比例地弯曲。其核心是 压电电阻传感器元件，确保在广泛的真空应用中准确且稳定的测量。与传统的不锈钢隔膜压电真空传感器不同，VDM-2采用清洁、干燥的陶瓷压电隔膜传感器，彻底消除了在敏感真空系统中油污染的风险。为了实现多功能性，SENS4 VDM-2测量气体压力，不依赖于气体类型或成分，使其成为半导体加工、分析仪器、工业真空系统等应用的理想解决方案。
电容式膜片计的替代品
电容式膜片计广泛应用于许多真空领域，用于高级过程的测量和控制。VDM-2传感器是传统1000 Torr/mbar全量程电容式膜片计（CDG）的一种经济实惠且紧凑的替代方案。
为恶劣的真空环境设计SENS4 VDM-2 真空传感器专为在苛刻的真空应用中使用而设计，这些应用环境中存在腐蚀性气体、攻击性化学品或恶劣的工艺条件。它的陶瓷氧化铝膜片对广泛的溶剂、酸和反应性化合物提供了出色的耐腐蚀性，确保在具有挑战性的环境中具有长期可靠性。
为了提供更全面的保护，SENS4 VDM-2 可选配聚对二甲苯涂层——一种高度耐腐蚀和疏水性的聚合物屏障。聚对二甲苯广泛应用于医疗领域，包括过氧化氢等离子体灭菌和冻干，在这些应用中，耐用性和防污染能力是至关重要的。
在容易受到颗粒污染的真空过程中，可选的保护挡板可防止颗粒物沉积在传感器膜片上，从而保障测量精度和传感器的使用寿命。
为了具备抗冲击能力，氧化铝传感器元件被设计成能够承受突然的排放和绝对压力高达2 bar（29 psia）的过压情况，使其在工业、制药和半导体环境中的高应力真空系统中表现出色。
灵活的模拟电压输出用于压力读取和控制
SENS4 VDM-2 真空传感器具有高分辨率模拟电压输出，能够直接连接到外部显示器、数据采集系统、PLC 或过程控制设备，以进行实时真空压力监测。兼容广泛的系统，SENS4 VDM-2 提供多种预配置的模拟输出曲线，允许无缝替换来自不同制造商的真空计——将设置时间和集成工作降至最低。对于定制应用，模拟输出也可以用户配置为任意线性比例，提供最大的灵活性以满足特定系统要求或控制策略。
数字接口，带有RS-232和RS-485，用于可靠的真空数据传输
SENS4 VDM-2 真空传感器具有集成的RS-232 和 RS-485 数字接口，确保在长电缆距离上传输的真空测量数据可靠且无噪音——不会因电信号衰减或电噪音干扰而受影响。
这种数字通信接口支持高级功能，例如实时压力监测、诊断、预测性维护、校准、服务状态、设定点配置和模拟输出缩放。这些功能使系统控制更加完善，并简化了与现代真空系统的集成。
即使当模拟输出配置为有限范围（例如，100托全量程）时，数字输出仍然继续提供准确的、全范围的真空压力读数，高达1333毫巴（1000托），为监控和控制提供最大的灵活性
