PREVAC TPD/TDS system 超薄膜吸附/解吸测量系统
于测量超薄膜吸附/解吸的独立系统，能够在宽温度范围内进行高精度温度控制。
- 一级TPD / TDS腔室，基本压力为1×10 -9 mbar（备用端口可用于其他组件）
- 配备四极TDS 40A1热解吸光谱仪（质量范围高达200 AMU），Z轴偏移，可实现最佳检测器定位
- 特殊设计的锥形采样端头
- 具有宽温度范围（-170°C至1200°C）的高精度温度控制的1轴UHV机械手
- TDS的计算机控制数据采集和处理软件
- 负载锁定室，用于两个PTS样品架
- 从负载锁定到TPD腔室的可靠，快速的线性传输系统
- 适用于所有电子设备的19英寸机柜
- 可调式刚性主框架，带大轮子，易于放置系统
提供许多升级选项，例如：
- 机械手的附加运动轴和完全电动化
- 通过精确的PLC控制压力，可以将压力范围从特高压扩展到1个大气压
- 气体加料系统（手动或精确，由PLC控制）
- 溶剂加药系统
- 专门用于腐蚀性环境的样品架
- 负载锁定的加热和LN 2冷却选项
- 专门用于样品制备的腔室
- 适用于不同质量范围的残留气体分析仪
应用范围：
- 表面科学
- 纳米粒子
- 薄膜
- 半导体类
- 光伏发电
- 材料表征
