PREVAC 4-6 轴氦气机械手（开放式循环） 4-6 axes Helium Manipulators (Open Cycle)

PREVAC 4-6 轴氦气机械手（开放式循环） 4-6 axes Helium Manipulators (Open Cycle)

该机械手是一种高精度、高刚性、模块化结构的UHV试样机械手，适用于X、Y和Z的一系列直线运动和R1、R2和R3旋转。

模块化结构意味着可以通过添加替换明确定义的模块来升级或修改规范。

选项

▪ 全电动
▪ 全软件控制
▪ 氦气回收系统
▪ 可以安装角度装置进行 PES 校准
▪ 温度稳定
▪ 加热选项​​：直接、电阻或 EB

加热和冷却方法

样品温度取决于样品架类型：
▪ 用10 A直接加热
▪ 电阻加热高达 1100 °C
▪ EB 加热高达 1400 °C
▪ 液氦冷却：
  – 4 轴机械手 –低至 4 K *
  – 5 轴机械手 –低至 4.8 K * / 10 K **
  – 6 轴机械手 –低至 7 K * / 15 K **
* 无需加热选项和温度即可实现参数。稳定。
** 通过加热选项获得的参数。

技术数据

* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
可根据要求为客户电机或驱动器准备机械手。