PREVAC 超高分辨率角分辨光发射光谱 (ARPES) 系统 ARPES 特高压系统 ARPES UHV system [project 418]

PREVAC ARPES 特高压系统 ARPES UHV system [project 418]

传输系统：

Flag Style 样品架

系统配置：

– 带有双层 mu 金属衬里的分析室，保证剩余磁场低于 0.1 微特斯拉，基本压力范围为 5*10 ^-11毫巴，包括：

• 具有 LHe 冷却功能的闭合循环高分辨率操纵器（样品温度低至 15K）——全电动
• 针对极其苛刻的应用进行了优化，高精度 ARPES 电子分析仪
• 具有专用泵送系统的用于 UPS 测量的单色 UV 源

– 装载锁定室允许装载多达 12 个 Flag 样式的样品架

– 制备室安装在分析室的顶部，允许对两个室使用一个机械手，包括：

• 用于样品清洁的离子溅射源
• 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
• 金蒸发器（Efusion cell）
• LEED 带多通道板，用于 Leed/Auger 测量

– 存储室，包括用于 12 旗式样品架的停放机制

– 用于转移样品的径向分配室 (UFO) 在 UHV 压力下在室之间转移

– 配件：

• 一套专用、多功能、多材料样品架
• 所有电子单元的特殊机架
• 特殊设计的烘烤系统