MS2 100 ISO-K 磁控管源用于在溅射过程中应用高度均匀的薄层。
源与特高压条件兼容。通过使用圆顶型设计，我们最大限度地减少了打开百叶窗所需的空间。MS2 100 ISO-K 与我们的 M600DC-PS 电源以及市场上所有其他直流、射频和脉冲直流电源完全兼容。无倾斜模块的设计。
特征
- 安装法兰：DN 100 ISO-K
- 烟囱为标准
- 气动圆顶式百叶窗
目标： - 直径：2″
- 厚度| 非磁性：1-6 毫米
- 厚度| 磁性：Fe 1 mm、Co 2-3 mm、Ni 2 mm
- 间接冷却
选项
- 质量流量控制器 (MKS MF1)
- Z 机械手
产品规格
| 安装法兰 | DN 100 ISO-K * |
| 最大限度。电源（直流模式） | 400 瓦直流** |
| 最大限度。功率（射频模式） | 400 瓦射频 ** |
| 最大限度。电压直流 | 1200伏 |
| 连接器 DC/RF | 7/16 型 |
| 目标 形状 直径 厚度 冷却 | 圆形 2″ (50.8 mm) ± 0.2 mm 1 – 6 mm 间接 |
| 水流 | 分钟 1升/分钟 |
| 最大限度。进水温度 | < 28°C |
| 最大限度。水压力 | 3 巴 |
| 管径 | Ø6×1 mm 聚四氟乙烯 |
| 磁铁材料 | 钕铁硼 (NdFeB) |
| 磁铁最大值 温度 | 200℃ |
| 内部气动百叶窗 | 是 – 圆顶型百叶窗 |
| 原位倾斜模块 | 不 |
| 烟囱 | 是的 |
| 典型速率 Cu, 140 mm 距离 Ti, 140 mm 距离 | 45 纳米/分钟 @ 300 瓦 30 纳米/分钟 @ 300 瓦 |
| 内部进气口 | 是（VCR 标准） |
| 工作气体 | 氩气 |
| 最大限度。工作压力 | 5×10 -3 – 1×10 -1毫巴 |
| 最佳工作压力 | 5×10 -3 – 5×10 -2毫巴 |
* 应要求提供其他安装法兰。
** 最大功率由目标材料决定。
