PREVAC 原子力显微镜分析系统 UHV-HP AFM System [project 539]
UHV-HP AFM 平台是一种独特的原子力显微镜分析系统，可在宽压力范围内工作。它专注于高度灵活的样品环境，专用于气固界面的前沿研究。该系统配备了快速进入装载锁和准备室。
- AFM 室– 由不锈钢制成，带有不同尺寸的连接法兰，用于当前和其他设备。工作压力范围从1 atm 到 UHV（在 150 ºC 烘烤后），
- 用于 AFM 模块的特殊滑轨，以方便对显微镜的维修，
- 装载锁定室允许装载和存储多达 4 个旗形样品架和 4 个悬臂（尖端），
- 带有 4 轴机械手的两级制备室（带有集成的石英天平和高达 1000 °C 的加热可能性），
- 配备电子束蒸发器 EBV 40A1和离子源 IS 40C1 的制备室，用于样品表面清洁，
- 特殊设计的泵送系统– 前真空和涡轮分子泵的隔振，
- 沉积速率测量系统TMC13和样品加热电源HEAT3-PS控制和稳定样品温度，
- 整个泵送和加气系统由PLC控制器控制，
- 用户友好的线性传输系统。
