波兰PREVAC分析系统 多功能特高压系统

描述

用于以下研究的多功能特高压系统：

• 电子和光子与来自（超音速）交叉分子束的原子、分子和簇的相互作用
• 各种等离子放电
• 加速原子、分子和带电粒子与表面的相互作用
• 表面吸附/解吸过程
• 薄膜沉积
• 原位测定薄膜的几何形状、结构、组成和性能

规格

每个室和分析室之间的原位样品转移。配备组合电子光谱技术（Auger、XPS、UPS
） 带脉冲喷嘴源的喷嘴室 (NC) 用于超音速分子束 (SMB) 生产，包括：

• 脉冲喷嘴 -（压力高达 10 bar，开启时间 0.1 – 10 毫秒，频率 1-100Hz）
• 真空条件下沿 X（最大 70 毫米）、Y（最大 10 毫米）和 Z（最大 10 毫米）的喷嘴传输系统
• 固定撇渣器
• 蓝宝石窗口 (DN 64 – 100)
• 与真空紫外光谱仪连接的中间装置
• NC 连接到单独的真空室，用于初始气体混合物制备（压力 0.001 – 1500 Torr）
• 中间室 (IC)
• TOF 质谱仪的离子光学系统。TOF m/s – 1-10 000 amu M/dM ~ 2000
• 蓝宝石窗口 (DN 64-100)
• 电子枪（Uak= 0-300 V，HW= 0.1 eV）
• TPD/S 光谱仪（样品的时间程序加热 + 四倍 m/s） – 精确的可移动样品架，可将样品安装在分子束轴上
• 将样品从 IC 移至分析室 (AC) 的传输系统
• 用于薄膜沉积的积液池
• 离子枪（清洁样品表面）