PREVAC 的表面分析系统产品线基于高度灵活的分析工具，针对 XPS (ESCA)、UPS、ARPES、ISS 和 AES 测量进行了优化。半球分析仪的能量分辨率 < 3 meV（2 eV 传递能量时的 FWHM）。除了光谱仪之外，还提供了多功能控制软件，该软件以开放标准格式 (JSON) 存储数据，并允许将数据导出为各种其他格式（hdf5、ini、txt），供不同的独立 XPS 评估程序使用。
- 分析室– 由 μ 金属制成，带有用于电流和其他设备的连接法兰。基础压力范围 10 -10 mbar（在 150 ºC 烘烤后），
- EA15半球能量分析仪 – 配备总共 11 个狭缝，该分析仪提供了在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择的可能性。平均半径：150 毫米。动能范围：0.5-3000 eV，
- X 射线源RS 40B1 –高强度双阳极 X 射线源，
- 带单色仪RMC50 的X 射线源，带电子装置（发射控制器、冷却箱和用于操作 RMC50 和 RS40B1 X 射线源的高压电源），
- UV源UVS 40A2，
- 离子源IS 40E1
- 洪水源FS 40A1
- RUDI-EA2 – 高稳定低噪声电子，
- SPECTRIUM – 在处理和直观图形界面方面的渐进式优化软件工具，
- 可靠，4-5-6 轴，全电动 UHV 机械手（带加热和冷却），
- 用于分析室和分析部件的泵送系统，
- 分析室的气体计量系统。
