专用于 XPS (ESCA)/UPS 实验的系统，压力范围为 5 mbar – 10 -10 mbar，样品温度可控。设备提供完整的 PLC 保护和软件控制，包括机器状态的清晰可视化、数据采集、所有集成设备、电源和辅助设备的控制。
- 分析室– 由 μ 金属制成，带有用于电流和其他设备的连接法兰。基础压力范围 10 -10 mbar（在 120 ºC 烘烤后），
- EA15-HP5半球能量分析仪 (XPS/UPS) – 配备总共 11 个狭缝，该分析仪提供了在最佳能量分辨率和最佳强度之间进行选择的可能性。平均半径：150 毫米。
- X 射线源RS 40B1 （HP 版）——高强度双阳极 X 射线源，
- 带单色仪RMC50（HP 版）的X 射线源，带电子装置（发射控制器、冷却箱和用于操作 RMC50 和 RS40B1 X 射线源的高压电源），
- UV源UVS 40A2，
- RUDI-EA2 – 高稳定低噪声电子，
- SPECTRIUM – 在处理和直观图形界面方面的渐进式优化软件工具，
- 用于 PTS 样品架的4 轴全电动 UHV 机械手（带加热和 LN 2冷却），
- 用于分析室、HP 分析仪和分析部件的泵送系统，
- 分析室的气体计量系统。
