波兰PREVAC分析系统 UHV-HP AFM 系统

UHV-HP AFM 平台是一种独特的原子力显微镜分析系统,可在宽压力范围内工作。它专注于高度灵活的样品环境,专用于气固界面的前沿研究。该系统配备了快速进入装载锁和准备室。

  • AFM 室- 由不锈钢制成,带有不同尺寸的连接法兰,用于当前和其他设备。工作压力范围从1 atm 到 UHV(在 150 ºC 烘烤后),
  • 用于 AFM 模块的特殊滑轨,以方便对显微镜的维修,
  • 装载锁定室允许装载和存储多达 4 个旗形样品架和 4 个悬臂(尖端),
  • 带 4 轴机械手的两级制备室(集成石英天平,可加热至 1000 °C),
  • 配备电子束蒸发器 EBV 40A1和离子源 IS 40C1 的制备室,用于样品表面清洁
  • 特殊设计的泵送系统- 前真空和涡轮分子泵的隔振,
  • 沉积速率测量系统TMC13和样品加热电源HEAT3-PS控制和稳定样品温度,
  • 整个泵送和加气系统由PLC控制器控制,
  • 用户友好的线性传输系统。

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