描述
用于制备和研究有机薄膜 (OLED) 的定制多室 UHV 系统。
规格
围绕中央径向分配室设计的多室系统，带有连接的分析室和辅助室，以满足真正的 UHV 条件（压力低于 10 -10毫巴）下的样品传输需求。由于有机薄膜的性质，快速可靠的样品转移是一个关键的设计标准。分析室中的基础压力 < 1*10 -10 mbar。
- 集成不同表面分析方法的多技术分析室；X 射线光电子能谱 (XPS)、逆光电子能谱 (IPES)、紫外光电子能谱 (UPS) 和电子损耗能谱 (EELS)。样品定位通过稳定、高精度的 4 轴机械手进行。样品接收站配备了 LN 2低温恒温器，允许温度在 -180°C 至 1000°C 范围内变化（取决于样品架型号）。mu-metal 室配有半球分析仪和 X 射线源、UV 源和低能电子源。灵活的设计允许轻松修改以满足未来的科学需求
- 可变温度 STM/AFM 室可通过直接连接到分配室的重定向室进入。特殊的样品架设计带有 STM 架，允许对每个室中的样品进行加热、冷却和温度测量
- 红外光谱室 (FT-IR) 与商用红外光谱仪，也可用作独立仪器。测量过程中可对样品进行加热和冷却，腔室可配备电子束蒸发器进行原位样品制备
- 三级制备室，配备LEED、TDS、离子源、电子束蒸发器、Knudsen 池和众多备用端口以备将来扩展
- 配备离子源和众多备用端口的单级制备室。配备表面电导率测量设备
- 装载锁定室配备可拆卸手套箱，用于在减少氧气和水气氛下进行简单的样品装载或样品制备
