多室特高压系统。
传输系统
PTS 样品架。
系统配置：
– 分析室：
- 具有 LN2 冷却和可加热至 1200°C 的高精度 4 轴机械手
- 电子能量分析仪 XPS/UPS/ISS 光谱显微镜
- 用于 XPS 测量的单色 X 射线源
- 洪水源
- 带有专用泵送系统的离子源，用于使用 Wien 质量过滤器进行深度分析
– 两级制备室：
- 具有 LN2 冷却和可加热至 2000°C 的高精度 4 轴机械手
- LEED/螺旋钻
- 电子束蒸发器（伸缩式）
- 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
– 负载锁定室
– 径向分布室，用于在特高压条件下在连接室之间转移样品
– 存储室，包括用于 10 个样品架/面罩的停放机制
– 配件：
- 样品架组
- 烘烤系统
- 适用于所有电子单元的 19″ 机架式机柜
- 支撑架
- LED照明
