Prevac离子源IS 40E1–双透镜、聚焦、抽取式离子枪。适用于深度剖析(Ar ),支持使用O2，H2、碳氢化合物和所有惰性气体。源能够在推荐的工作距离上光栅化表面的10mm×10mm区域。它特别适用于XPS、ISS和SIMS中的深度剖析。该源也可用于样品表面清洁。
特征
- 特殊构造的鼻锥
- 惰性气体(Ar)和活性气体(O2，H2寿命缩短的碳氢化合物)
- 连续可变光斑尺寸
- 极其均匀的弹坑/光束轮廓
- 内侧可更换灯丝
- UHV气体入口
- UHV条件保持在室内
- 集成扫描和偏转单元
- 入射电子束角度的校正(由IS40-PS电源提供)
| 安装用法兰 | DN 40CF(可旋转) |
| 气体 | 氩气和活性气体(氧气2，H2寿命缩短的碳氢化合物) |
| 能量范围 | 0.15千电子伏–5千电子伏 |
| 扫描区域 | 10毫米x 10毫米(适用于23毫米的工作距离) |
| 电流密度 | 最高4毫安/厘米2(距离为23毫米) |
| 射束电流 | > 1 μA(对于23 mm的距离) |
| 阴极型 | 氧化钇涂层铱丝 |
| 小锥角 | 50 |
| 插入长度 | 163毫米(标准)，外径:34毫米 |
| FWHM | 取决于工作距离 (例如，距离为23毫米时小于150微米) |
| 典型工作距离 | 23-120毫米 |
| 烘烤温度 | 250摄氏度 |
| 工作压力 | 10-8毫巴(最大电子束电流) |
