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Prevac沉积系统、离子源、电子束蒸发器
Prevac沉积系统、磁控溅射系统、032PRIMS基本MS系统
Prevac厚度监视器TM13和TM14
Prevac分析室、Prevac流经高压反应器、Prevac静态高压反应器
Prevac沉积室、Prevac真空室、Prevac样品制备腔
Prevac EF 40LT1低温积液池、低温渗液池、低温沉积池
Prevac热解吸光谱仪TDS 40A1
Prevac磁控管源/2英寸靶
Prevac电子束蒸发器EBV 40A1
Prevac电子源ES 40C1
Prevac离子源IS 40C1
Prevac离子源IS 40E1
Prevac紫外线源UVS40A2
Prevac带单色仪的紫外光源
Prevac x射线源RS40B1
Prevac x射线源-带有单色仪RMC50
Prevac标准PLD系统
Prevac半球能量分析仪EA15-HP50
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Prevac标准HPPES系统
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Prevac样品加热电源HEAT3-PS
Prevac钛升华泵电源TSP04-PS
Prevac厚度监视器TM13和TM14
Prevac电源控制单元PCU16
Prevac厚度监控控制器TMC13
Prevac离子多规控制器MG15
Prevac沉积过程控制器DPC10
Prevac气体泄漏检测器GLD10
Prevac TSP UHV泵、钛升华泵
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Prevac中型涡轮分子系统-带PCU16功率控制单元
Prevac移动泵站MPS
Prevac UHV摩擦计
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