Prevac离子源IS 40C1,紧凑、易于使用的提取器类型,用于样品表面清洁。离子源产生的离子电流大于70 μA/cm2(氩)具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个人要求进行调整(在62.5毫米至384.5毫米之间,其他要求)。
特征
- 惰性气体(Ar)和活性气体(O2,H2寿命缩短的碳氢化合物)
- 高离子束电流
- 长寿命
- 高稳定性
安装用法兰 | DN 40CF(不可旋转) |
能量范围 | 0.12千电子伏–5千电子伏 |
电流密度 | > 120 μA/cm2(对于30毫米的距离) |
盾 | 铜,不锈钢(用于活性气体) |
阴极型 | 氧化钇涂层铱丝 |
插入长度 | 量滴62.5毫米,其他要求 OD:麦克斯。37毫米 |
FWHM | 取决于离子能量和工作距离 (例如,距离为30毫米时为3毫米) |
典型工作距离 | 30-250毫米 |
烘烤温度 | 高达250摄氏度 |
工作压力 | 10-5 – 10-6毫巴(millibar压力单位) |