Prevac离子源IS 40C1

Prevac离子源IS 40C1,紧凑、易于使用的提取器类型,用于样品表面清洁。离子源产生的离子电流大于70 μA/cm2(氩)具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个人要求进行调整(在62.5毫米至384.5毫米之间,其他要求)。

特征

  • 惰性气体(Ar)和活性气体(O2,H2寿命缩短的碳氢化合物)
  • 高离子束电流
  • 长寿命
  • 高稳定性
安装用法兰DN 40CF(不可旋转)
能量范围0.12千电子伏–5千电子伏
电流密度> 120 μA/cm2(对于30毫米的距离)
铜,不锈钢(用于活性气体)
阴极型氧化钇涂层铱丝
插入长度量滴62.5毫米,其他要求
OD:麦克斯。37毫米
FWHM取决于离子能量和工作距离
(例如,距离为30毫米时为3毫米)
典型工作距离30-250毫米
烘烤温度高达250摄氏度
工作压力10-5 – 10-6毫巴(millibar压力单位)

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