Prevac厚度监控控制器TMC13最新技术的电子设备，设计用于监测和控制任何涂层和沉积过程。多达六个通道输入和两个额外的真空计通道以及7”TFT显示屏使该单元真正成为独一无二的通用设备。
特征
- 多达6个通道，用于带石英天平的厚度监控传感器
- 2D实时图表模块
- 大多数主动真空计的两个输入
- 多达8个快门和I/O可重新编程
- 继电器输出
- Rwo可重编程模拟输出，用于16位分辨率的速率和厚度监控
- 工业标准6 MHz晶体
- 频率分辨率:0.1赫兹(TM13)或0.01赫兹(TM14)
- 操作最多两个多晶传感器头(气动或步进电机)
- 紧凑的设计
- 一键式材料更换
- 常用材料的收藏夹列表
- 一触式装置改变
- 保存个人用户配置文件
- 内置视频教程
- LabVIEW库
传感器输入可以分配给不同的材料，并带有单独的参数。DSP处理器控制的高速高精度测量过程提高了薄膜质量和重复性。它还带来了准确性，稳定性和仪器配置的特点。自动保存功能，用于保存您的参数/单位预设，并在重启后自动应用。
专用于精确速率测量的可用软件。记录石英谐振器的频率随时间的变化(以图表的形式)。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发率。适用于MBE等应用。
| Supply voltage | 100-240 VAC, 50/60 Hz (power consumption max 100 W) |
| TM sensor inputs channels | 6 |
| Thickness | 0 – 9999000 Å |
| Rate | 0 – 9999 Å/s |
| Compatible sensors (two channels) | CTR90, TTR91, TTR211, PTR225, PTR90, ITR90, ITR100, Baratron, ANALOG IN, MKS937A, PG105, MG13/14, PKR251/360/361, PCR280, ATMION |
| Frequency resolution | TM13: 0.1 Hz | TM14: 0.01 Hz |
| Frequency range | 2-6 MHz |
| Thickness resolution | TM13: 0.1 Å | TM14: 0.01 Å |
| Rate resolution | TM13: 0.1 Å/s | TM14: 0.01 Å/s |
| Frequency stability | TM13: 0.5 ppm | TM14: 0.5 ppm |
| Tooling factor | 1 – 400% |
| Measurement units | Å, kÅ, nm |
| Measurement period | 100 ms – 2 s (depend on TM type) |
| Shutter control | manual, time, thickness |
| Shutter time | 1 – 1000000 s |
| Pressure channels inputs | 2 |
| Measurement units | mbar, Pa, Torr, Psia |
| Degas time | 1 – 3 min |
| Output | ▪ 8 relay outputs (2 outputs with COM NC and NO contacts) ▪ 2 analog outputs: 0-10V (retransmision thickness, rate, pressure) |
| Inputs | 4 digital inputs (in 24V logic) |
| Communication interface | RS232/485, Ethernet |
| Communication protocol | MODBUS-TCP |
| User interface | 7″ TFT display with touchscreen |
| Interface languages | English, German, Polish |
| Dimensions | 212.6 x 128.4 x 260.9 mm (W x H x D) |
| Weight (approx.) | 3 kg |
