高均匀性样品表面离子刻蚀UHV系统。推荐用于表征技术(如TEM)的样品制备。

特征

• 全电动双轴机械手带快速操作自动快门和集成法拉第杯
• 带有的操纵器高效水冷系统，以保证过程中所需的温度稳定
• 各种类型的样品架，最大尺寸为6英寸
• 准备好无网格/网格射频/ DC离子源
• 专注的软件和人机界面设备用于控制和监控过程和所有组件
• 内部的保护衬垫/护罩
• 用于例如电子束蒸发器的底部法兰
• 通过传输系统，设计易于扩展
• 前开门容易接近到处理室