用于UHV环境中光电子能谱实验的分析系统，样品温度可控。

独立系统适用于分析多种纳米材料。该系统包括一个分析室和一个装载锁定室，用于简单快速地装载基片。与分析室的标准容积相结合的泵系统允许达到低至10的基础压力^-11毫巴，取决于泵的配置。

特征

• 满足以下领域大多数研究需求的标准解决方案XPS / UPS / ARPES / AES /电子发射器定位系统/ ISS / IPES /莱普斯技术
• 全自动化实验程序 
• 垂直或水平样品方向 
• 半球能量分析器EA15 UHV带设备 
• 高功率双阳极带单色仪的x射线源–alkα& aglα，有电源的
• 高功率双阳极，非单色x射线源–AlKα & MgKα，有电源的
• 紫外线源有电源的
• 洪水源头有电源的
• 离子源用于深度剖析或者打扫卫生
• 电动或手动4-6轴 操作者,接收站能够实现从左/右₂到高达的高温1400摄氏度
• 不同的样品架尺寸:从10×10毫米到1英寸
• 分析室直径310毫米
• 基底压力降到了10分^-11毫巴，取决于泵的配置
• 泵送系统(基于备用泵、TMP、离子泵和TSP)
• 带设备的真空计
• 负载锁定室对于样品架
• 可靠且快速线性传送系统从装载锁到分析室
• 视窗–观察窗口
• 烘烤系统 
• 该系统的可调刚性主框架 
• 带电子设备的19英寸机柜
• 完全受控的分析过程和设备经过Spectrium软件和PLC单元

描述

这分析室配有UHV标准的连接法兰，用于连接当前和未来的设备，包括:

• 带设备的半球能量分析器，
• 具有电源的x射线双阳极单色源，
• 带电源的x射线双阳极非单色源，
• 带电源的UV单光源，
• 具有电源的紫外线源，
• 具有电源的洪水源，
• 具有电源的电子源，
• 具有用于深度剖析或清洁的电源的离子源，
• 具有电源的气体团簇离子源，
• 具有宽温度范围的样品操纵器(从LHe/LN₂高达1400摄氏度)，
• 泵组(基于备用泵、TMP、离子泵和TSP，具有大面积LN₂裹尸布)，
• 带设备的真空计，
• 线性传输系统的入口，例如从装载锁到分析室，
• 用于样品架的负载锁定室，
• LEED带着装备，
• IPES /莱普斯与设备、
• 视窗–观察窗，
• 残余气体分析仪。

最终设计和功能取决于系统配置。 

A 抽水系统是不同类型泵的组合，例如预真空泵、离子泵、涡轮泵或钛升华泵，具有巨大的面积LN₂护罩，根据具体应用需求单独选择，以实现最佳泵送性能。 

如果需要，系统的标准设计允许通过径向分布传输解决方案或传输通道与任何其他研究平台结合和集成。 

光谱分析控制软件允许半球能量分析器和各种类型的源的集成和完美配合，从而实现简单的配方编写、自动测量控制和广泛的数据记录。允许集成新的附加组件，基于Tango开源设备. 

光电发射光谱学是一种实验技术，也是电子光谱学的主要变体。该方法基于光电现象和对光电子动能分布的分析。发射的能量来自表面样品的电磁辐射激发。 

PES技术是薄层表面测试和检查最常用的方法。它提供了以下信息:定量成分、原子键特征、层厚度。基本过程(光电效应)测量光子照射物质产生的光电子发射。 

包括PES分析技术: 

• 波段移相器（同 X-band phase shifter）–X射线光电子能谱 
• 哈克斯佩斯–硬X射线光谱学 
• 不间断电源–紫外光电子能谱学 
• 阿尔佩斯–角度分辨光电发射光谱 

其他技术: 

• IPES–逆光电发射光谱 
• 莱普斯–低能反向光电子能谱 
• 俄歇电子能谱–俄歇电子光谱 
• 电子发射器定位系统–电子能量损失光谱学 
• 出版（issue的简写）–离子散射光谱