厚度监视器TM13和TM14
TM13和TM14器件包括:石英振荡器、频率测量系统和通信接口。它连接到石英谐振器的输入元件。测量结果通过RS232传输到主设备:PC或TMC13控制器。通过TMC13控制器或PC进行远程控制。专用于精确速率测量的可用软件。记录石英谐振器的频率随时间的变化(以图表的形式)。允许用户从选定的时间间隔计算蒸发率。适用于MBE等应用。
特征
TM13
- 频率分辨率:0.1赫兹
- 每秒测量次数:4(固定)
- 石英振荡器的最大频率:6 MHz
- 稳定性:0.5 ppm
TM14
- 频率分辨率:0.01赫兹
- 每秒测量次数:0.5、1、2、4、10(可选)
- 石英振荡器的最大频率:6 MHz
- 稳定性:0.5 ppm
| Power supply | 5V DC | |
| Current consumption | max 500 mA | |
| TM13 | TM14 | |
| Thickness resolution | 0.1 Å | 0.01 Å |
| Rate resolution | 0.1 Å/s | 0.01 Å/s |
| Frequency resolution | 0.1 Hz | 0.01 Hz |
| Frequency stability | 0.5 ppm | 0.5 ppm |
| Number of measurements per second | 4 | 0.5; 1; 2; 4; 10 (selectable) |
| Communication Interface | RS232 | |
| Dimensions [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 mm (W x H x D) | |
| Weight (approx.) | 0.1 kg | |
