Prevac中型涡轮分子系统-带PCU16功率控制单元

Prevac中型涡轮分子系统–带PCU16功率控制单元

带PCU16功率控制单元的中型Turbo Molecular System MTS是一款紧凑型便携式泵装置，配有大型TFT LCD触摸屏图形显示器和内置真空设备:

• 前真空隔膜泵，
• 涡轮分子泵65升/秒，
• 安全阀SV，
• 分离阀Z1、Z2、Z3(可选)，
• 排气阀VV，
• 前真空计Leybold TTR91，
• UHV规Leybold ITR90(可选)。