Prevac TSP UHV泵、钛升华泵

钛升华泵(TSP)是真正的UHV泵。这种泵的主要优点是简单、便宜并且可以产生高的泵送速度。TSP由3根可移动的发夹状细丝组成。它们由钛和钼合金制成，安装在一个简单的低电阻载体上。

来自外部电源的高电流通过灯丝，使其发出炽热的红光。在此温度下，钛直接从灯丝升华，然后蒸发物覆盖在室壁附近。