代理PiezoMotor Piezo LEGS® LT20线性压电执行器,微电机

代理PiezoMotor Piezo LEGS® LT20线性压电执行器,微电机

Piezo LEGS® LT20线性压电执行器专为OEM应用设计,重点在于在磁场、真空或常温常压(NTP)环境下实现精确定位。

PiezoMotor具有卓越的尺寸与推力比以及纳米级精度的线性执行器。

  • 20 牛顿力
  • 非磁性
  • 可吸尘
  • 纳米级精度
  • 直驱 – 无背隙
  • 保持位置时无功耗
  • 快速响应与高动态性能

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 直线执行器

PiezoMotor LT20线性马达适用于广泛的OEM应用。设计重点在于易于集成。其极高的动态速度和纳米级分辨率使其成为众多应用领域的理想选择。

该电机非常适合移动和保持应用,或用于自动调整。在保持位置时,它不消耗任何电力。驱动技术为直接驱动,这意味着无需齿轮或导丝杠即可产生直线运动。该电机没有机械间隙或反向间隙。PiezoMotor LT20直线电机提供标准版、真空版和非磁性真空版。

它非常适合半导体制造设备,用于晶圆切割和抛光、光刻、离子注入以及晶圆检测和计量。
PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 用于医疗技术工业,用于药物输送系统、手术工具和机器人、诊断和成像设备以及医疗材料处理。

PiezoMotor Piezo LEGS®规格 Piezo LEGS® LT20

类型

正常 (A)

非磁性 (C)

非磁性真空 (D)

最大笔画

74.5 毫米

在菱形点,无载,20ºC时的速度范围

1 nm/s – 20 mm/s (检查驱动程序)

步长,全步 @ Delta,无负载,20ºC

3.3 µm

最大速度(取决于驱动器和波形)

20 毫米/秒

最大工作频率(取决于驱动程序)

2.5 kHz

运动分辨率

<1 N

停滞力

20 N

保持力

>20 N

真空

是 (10-7托尔)

非磁性

是的

最大工作电压

48 伏特

功耗

10 mW/Hz

机械尺寸 长 x 高 x 深

22 x 21.8 x 10.8 毫米

带50毫米驱动杆的重量

29 克

电机外壳材料

不锈钢

Arcap(非磁性)

工作温度(推荐)

-20 至 +70°C

储存温度

-20 至 +70°C

内置编码器

连接器电机(电机侧)

2 x JST BM05B-SRSS-TB

焊接电缆,2 x JST 05SR-3S

控制

开环或闭环

寿命 (公里)

2,5 X 109  WFM-S*

INDEX

N/A

Max. acceleration

800Hz/ms

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20电机性能

带有波形菱形(实线)和波形三角(虚线)的电机性能。全步长是指腿部完成一次完整步进(即一个波形周期)时驱动杆移动的平均距离。

注:应考虑标准偏差 σ 为 0.5 μm。
典型值适用于 20ºC。


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