瑞典PiezoMotor Piezo Piezo LEGS® LTC450 重型线性推杆,半导体行业的亚纳米级精度

450 牛,真空兼容线性推杆

Piezo LEGS® LTC450 具有纳米级分辨率和 450 N 的负载能力,行程为 20 毫米

  • 可抽真空
  • 450 N 力
  • 分辨率可达亚纳米级
  • 20 毫米行程
  • 自锁
  • 无反冲

真正的直接线性驱动

该驱动技术采用直接驱动方式,即无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式驱动,将一个完整的波形步长划分为纳米级增量。速度范围从每秒纳米级到每秒毫米级,且可在整个动态范围内实现无缝控制,无需更改驱动模式。

孪生概念可在紧凑的机身中实现高力输出,在本例中,失速力为 450N。这样的设计更加坚固耐用,无需滚珠轴承。

它采用直接驱动,无反向间隙,可在亚纳米毫米范围内实现微步。专为真空环境设计

设计中固有的全力大于 450 牛顿的断电锁定安全功能。

规格 Piezo LEGS® LTC450 重型线性推杆

类型真空 (B)单位
最大行程20
最高车速
取决于驾驶员
0.2毫米/秒
最低速度
取决于驾驶员
1μm
失速力450N
夹持力>450N
真空是的10-7 
非磁性的
工作电压42-49V
功耗300mW/Hz
机械尺寸 长×高×深
含导轨和编码器
不适用
机械尺寸 长×高×深
不含导轨和编码器
98 x 50 x 50
重量
含 50 毫米驱动杆
1060
电机外壳的材质不锈钢
工作温度
建议
+10 至 +70
连接器电机带 JST O5SR-3S 的焊接电缆
连接器编码器
分辨率电机
<1nm
内置编码器
编码器分辨率不适用微米

主要尺寸 LTC450

瑞典PiezoMotor Piezo Piezo LEGS® LTC300 的分辨率为纳米级,负载能力为 300 N,行程为 20 mm

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