瑞典PiezoMotor精密工件台压电 LEGS® XY 精密平台(带孔径)

瑞典PiezoMotor精密工件台压电 LEGS® XY 精密平台(带孔径)

动作,完美无缺。

集成双轴定位,带光学访问和两种力位选项。

16 x 16毫米

X-Y旅行

北纬6度 / 北纬20度

每轴力

一个为稳定、可重复定位而打造的精密舞台

XY系列结合了两个闭环轴和一个用于光学访问的中央光圈。两款机型均支持X±8毫米和Y±8毫米运动;客户可选择每个轴的6N或20N失速力。

带光圈的压电LEGS® XY精密舞台

主要优势

  • X±8毫米,Y毫米±8毫米
  • 每轴6牛顿或20牛顿失速力
  • 每轴编码器分辨率为40纳米
  • 中央光学孔径
  • 2公斤载重能力
  • 双轴PMSD402控制

小动作。影响很大。

当精准决定性能时,每一个动作都至关重要。压电LEGS®技术实现了直接、受控的运动,而无需传统传动机构的复杂性。

40纳米分辨率,适合高强度定位。

保持X-Y位置,且不持续使用马达。

集成双轴平台,中央开口。

致力于推动创新前进。

从先进的光学到分析仪器,精密运动推动了系统性能更佳。

X和Y的位置光学、晶圆和传感器

在保持光学接触的前提下移动标本。

扫描表面和探测器响应跨两个轴。

保持选定的X-Y位置,保持低静止热量。

一个阶段。每一个动作都精准无比。

典型应用

  • 显微镜与标本定位
  • 带跨级访问的光学成像
  • 晶圆、传感器和探测器对准
  • 精密制图与计量
  • 激光与光子学对准

这带来了什么

  • 在保持舞台光圈无阻碍的光学路径的同时,定位样品。
  • 通过可重复的闭环运动,将表面或传感器响应映射到两个轴上。
  • 在X和Y中对齐光学或光子元件,无需堆叠单独的单轴级。

找到适合自己的位置。

每个轴选择6N,用于典型的样品、传感器和光学元件定位。当电缆受力、工艺负载或动态需求需要额外驱动力储备时,每轴选择20牛顿。确认孔径、有效载荷重心和施加力矩是否与最终机械布置兼容。

技术规格

模型运动范围失速力负载最大速度重量
LLS-XY-06-16-C-E40X±8毫米;Y ±8毫米每轴6 N2公斤5毫米/秒2.5公斤
LLS-XY-20-16-C-E40X±8毫米;Y ±8毫米每轴20牛2公斤5毫米/秒2.5公斤

共享平台规范

规格家族规格
编码器分辨率40 nm(X/Y)
定位可重复性±40 nm(X/Y)
车身材质
推荐的控制器PMSD402
舞台缆绳CKS-20,2米;包含数量待确认

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