许秀娟18001942024

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PiezoMotor LT2020压电线性执行器 LT2020D-050D1B10

Piezo LEGS® LT20 linear piezo actuator

20 N 推力、非磁性、兼容真空环境的高精度直线执行器。

Piezo LEGS® LT20 线性压电执行器专为 OEM（原始设备制造商）集成应用设计，适用于需要高精度定位的场合，可在磁场环境、真空环境以及常温常压（NTP，Normal Temperature and Pressure）环境下稳定工作。

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20压电电机产品特点：

一款兼具卓越尺寸/推力比和纳米级定位精度的线性执行器。

  • 最大推力：20 N
  • 非磁性设计
  • 适用于真空环境
  • 纳米级定位精度
  • 直接驱动，无机械回程间隙（Backlash Free）
  • 保持位置时无需持续供电（断电自锁）
  • 响应速度快，具备优异的高速动态性能

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器产品介绍

Piezo LEGS® LT20 线性执行器面向广泛的 OEM（原始设备制造商）集成应用而设计，在产品开发过程中充分考虑了易于集成的需求。凭借优异的高速动态响应和纳米级定位分辨率，LT20 能够满足各种高精度运动控制应用的需求。

LT20 特别适用于定位保持（Move-and-Hold）和自动调节等应用。在保持位置时，执行器无需持续供电即可维持位置，从而有效降低系统功耗。该产品采用直接驱动（Direct Drive）技术，无需齿轮、丝杠等机械传动机构即可实现直线运动，因此不存在机械间隙（Mechanical Play）和回程间隙（Backlash），能够提供高精度、高重复性的定位性能。

Piezo LEGS® LT20 提供多种版本，包括：

  • 标准版（Standard Version） LT20A
  • 真空版（Vacuum Version）  LT20C
  • 非磁性真空版（Non-Magnetic Vacuum Version）    LT20D

以满足不同应用环境的需求。

典型应用领域

半导体制造

LT20 非常适用于半导体制造设备中的高精度运动控制，包括：

  • 晶圆切割（Wafer Slicing）
  • 晶圆抛光（Wafer Polishing）
  • 光刻（Lithography）
  • 离子注入（Ion Implantation）
  • 晶圆检测与计量（Wafer Inspection & Metrology）

医疗技术（MedTech）

Piezo LEGS® LT20 广泛应用于医疗器械和生命科学设备，包括：

  • 药物输送系统（Drug Delivery Systems）
  • 外科手术器械及医疗机器人（Surgical Tools & Robotics）
  • 医学诊断与成像设备（Diagnostic & Imaging Devices）
  • 医疗材料搬运与自动化系统（Medical Material Handling）

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 线性执行器规格参数

参数标准型（A）非磁型（C）非磁真空型（D）单位
最大行程（Maximum Stroke）
74.5
74.5
74.5
mm
最大速度（取决于驱动器）
24
24
24
mm/s
最低速度（取决于驱动器）
1
1
1
nm/s
堵转推力（Stall Force）
20
20
20
N
保持力（Holding Force）
>20
>20
>20
N
真空兼容
否
否
是（10-7 Torr）
—
非磁性
否
是
是
—
工作电压
42–48
42–48
42–48
V
功耗
10
10
10
mW/Hz
外形尺寸（长 × 高 × 深，含导轨和编码器）
N/A
N/A
N/A
mm
外形尺寸（长 × 高 × 深，不含导轨和编码器）
22 × 21.8 × 10.8
22 × 21.8 × 10.8
22 × 21.8 × 10.8
mm
重量（配 50 mm 驱动杆）
29
29
29
g
电机外壳材料
不锈钢
Arcap 非磁合金
Arcap 非磁合金
—
推荐工作温度
−20 ～ +70
−20 ～ +70
−20 ～ +70
°C
电机接口
2 × JST BM05B-SRSS-TB
焊接电缆
焊接电缆 2 × JST O5SR-3S
—
编码器接口
N/A
N/A
N/A
—
电机分辨率
<1
<1
<1
nm
内置编码器
否
否
否
—
编码器分辨率
N/A
N/A
N/A
—

PiezoMotor Piezo LEGS® LT20 电机性能

采用 Rhomb（菱形波，实线）和 Delta（三角波，虚线）驱动波形时的电机性能。整步步长（Full Step Length）是指驱动杆在压电驱动腿完成一个完整步进动作（即一个完整驱动波形周期）时所产生的平均位移距离。

注：应考虑 σ = 0.5 μm 的标准偏差。

典型性能参数均基于环境温度 20 ℃ 测得。

行程范围

驱动杆长度（Drive Rod Length）单个转接件时的行程（Stroke with One Adapter）单位
30
0–6.6
mm
40
0–16.6
mm
50
0–26.6
mm
60
0–36.6
mm
70
0–46.6
mm
101
0–77.4
mm

20 ℃ 条件下电机速度参数

波形类型（Waveform）最大频率（Max. Frequency）(Hz)速度范围（Speed Range）(mm/s)
Delta（三角波）
3000
0–15
Rhomb（菱形波）
3000
0–24

电机控制驱动 PMD401 和 PMD301

PiezoMotor提供多种版本的电机控制单元，包括适用于实验室应用的控制器和驱动器，以及适用于 OEM 设备集成的控制器和驱动器，可满足不同应用场景的需求。

对于希望自行开发驱动电子系统的客户，PiezoMotor还可提供驱动技术授权（Driver License），支持客户自主设计和制造电机驱动电路。

 

 


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