
Piezodrive 压电管扫描仪是径向极化的压电材料制成的薄壁圆柱体,具有四个外部电极和一个连续内部电极。当在其中一个外部电极施加电压时,管的自由端会向施加电压的方向弯曲。垂直延伸可通过向所有外部电极施加相同电压,或向内部电极施加电压来实现。
Piezodrive 压电管扫描仪广泛用作扫描探针显微镜中的 XYZ 纳米定位器,也用于显微操作和光束扫描等其他应用。压电管可单独订购,也可选择带接线和连接器的版本(用于连接 TD250-INV 放大器),并提供安装表面以便于组装。还可根据要求定制尺寸和/或电极配置。
| 订购代码 | 长度 (1) | 直径 (2) | 壁厚 (3) | 电极间隙 (4) | 最大电压 (5) | 扫描范围 (6) | 延伸范围 (7) | 谐振频率 (8) | 象限电容 (9) | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TB1006-N | 10.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 3.2 µm | 2.1 µm | 31 kHz | 3 nF | ||
| TB2006-N | 20.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 13 µm | 4.2 µm | 7.7 kHz | 4 nF | ||
| TB3006-N | 30.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 29 µm | 6.3 µm | 3.4 kHz | 6 nF | ||
| TB4006-N | 40.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 51 µm | 7.4 µm | 1.9 kHz | 6 nF | ||
| TB5006-N | 50.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 80 µm | 11 µm | 1.2 kHz | 10 nF | ||
| TB6006-N | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 114 µm | 13 µm | 850 Hz | 11 nF | ||
| TB10006-N | 100.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 0.7 mm | ±260 V | 318 µm | 21 µm | 310 Hz | 19 nF |

压电管配 TD250-INV 放大器接线示意图
由 TD250-INV 放大器驱动的压电管接线方案如下:
X 轴偏转:由 In1 信号(±10V)控制,在 +X 电极上产生同相 ±250V 信号,在 -X 电极上产生反相 ±250V 信号。当 In1 为 +10V 时,压电管向 +X 电极方向 产生最大偏转;当 In1 为 -10V 时,向 -X 电极方向 产生最大偏转(如图所示)。
Y 轴偏转:驱动方案与 X 轴完全相同(由 In3 和 In4 控制)。
Z 轴(垂直)偏转:由 In5(0V 至 -10V)控制,在内部电极上产生最高 -250V 的负电压,产生等于垂直行程范围 一半 的收缩量。
注意:当三个轴同时驱动时,垂直行程范围只能使用 一半。

