Piezodrive TB系列压电致动器陶瓷管压电陶瓷管压电管压电管扫描仪压电堆栈压电陶瓷致动器压电控制器压电叠堆陶瓷压电陶瓷微位移致动器环形压电陶瓷叠层致动器叠层致动器多层压电致动器压电陶瓷促动器

Piezo Tube Scanner

压电管扫描器是一种具有四个外电极和一个连续内电极的径向极化压电材料的薄圆柱体。当电压施加到其中一个外电极上时，执行器壁会膨胀，从而导致垂直收缩和管端的大横向偏转。周向电极可用于垂直或径向延伸和收缩。

压电管扫描仪广泛应用于扫描探针显微镜和光纤拉伸、光束扫描等应用领域。可根据要求提供定制尺寸和/或规格。

Order Code	Length	Diameter	Thickness	Electrode Clearance	Max. Voltage	Scan Range	Extension Range	Resonance Frequency¹	Quadrant Capacitance
TB1005	10.00 mm	5.0 mm	0.66 mm	1 mm	264 V	3.8 um	2.1 um	25 kHz	3 nF
TB2005	20.00 mm	5.0 mm	0.66 mm	1 mm	264 V	15 um	4.2 um	6300 Hz	6 nF
TB3507	35.00 mm	7.0 mm	0.66 mm	1 mm	264 V	39 um	7.4 um	3000 Hz	10 nF
TB5009	50.8 mm	9.5 mm	0.66 mm	1 mm	264 V	52 um	10 um	1900 Hz	17 nF
TB5509	55.0 mm	9.0 mm	0.6 mm	1 mm	250 V	66 um	12 um	1600 Hz	17 nF
TB6006	60.0 mm	6.0 mm	0.65 mm	1 mm	260 V	114 um	12 um	850 Hz	12 nF

注意：

具有固定底座和自由端的第一弯曲模态共振频率。

Lateral deflection and vertical contraction of a four-quadrant piezoelectric tube

TD250是一款超低噪音、六通道250V放大器，专为驱动压电管扫描仪而优化。尽管许多配置是可能的，但是下面所示的驱动内部电极配置是简单的，并且提供最大X、Y和Z行程范围。

Driving piezoelectric tubes with the TD250-INV

在被驱动的内部电极结构中，X和Y电极以标准方式以相等和相反的电压驱动。通过在内部电极上施加满标度负电压，可获得相当于垂直扫描范围一半的收缩。这种方法利用了压电材料较高的正电场强度，通常是负电场强度的五倍。必须注意不要在内部电极上施加正电压，因为这会导致去极化。

电极

这些管子配有镍薄膜电极。内电极连续，外电极四分之一。用稀硝酸蚀刻可去除电极面积。可根据要求定制电极配置。

电极间隙规格是从两端拆下的外部电极的长度，它为安装表面提供电气间隙。内电极是连续的。

在需要高磁场的应用中，镍电极可以用铜或金代替。铜是一种经济的选择，但黄金具有优异的耐腐蚀性和导电性。

压电性能

压电材料类似于PZT-5H和海军VI型。

Property	Symbol	Value	Unit
压电常数	d₃₃	600	10^-12 m/V
	d₃₁	-270	10^-12 m/V
	g₃₃	19.4	10^-3 Vm/N
	g₃₁	-9.2	10^-3 Vm/N
机电耦合系数	K_p	0.65	NA
	K_t	0.37	NA
	K₃₁	0.38	NA
频率常数	N_p	1980	Hz-m
	N_t	1950	Hz-m
	N₃₁	1450	Hz-m
弹性常数	Y₃₃	5.3	10¹⁰ N/m²
弹性常数	Y₁₁	7.2	10¹⁰ N/m²
Q Factor	Qm	80	NA
介电常数	e₃₃ ⁄ e₀	3500	@1 kHz
耗散因子	tan δ	2.5	% @ 1 kHz
电流温度	T_c	220	C
密度	ρ	7.8	g/cm³

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