Piezodrive TB系列压电陶瓷管扫描器 压电陶瓷管 压电驱动器 陶瓷管 压电传感器 压电管扫描仪 压电扫描管 压电陶瓷驱动器

压电陶瓷管扫描器是可以三维运动的压电陶瓷管,用于三维微扫描与定位,如AFM原子力显微镜等。

压电陶瓷管扫描器为壁厚比较薄,径向计划,外壁四个电极,内壁一体或者分区电极的压电陶瓷管,当外部施加一个电压到某一个区域时,陶瓷管垂直方向收缩,使陶瓷管顶部产生比较大的倾斜,同时施加电压会使陶瓷轴向或径向膨胀和收缩.

型号 长(mm) 外径(mm) 厚度(mm) 电压(V) 扫描范围(μm) Z轴位移(μm) 谐振频率[kHz]
1005 10 5 0.66 ±264 3.8 2.1 10
2005 20 5 0.66 ±264 15 4.2 6.29
3507 35 7 0.66 ±264 39 7.4 2.99
5009 50 9 0.66 ±264 52 10 1.99
5509 55 9 0.6 ±250 66 12 1.6
6006 60 6 0.65 ±260 114 12 0.865

驱动方式与位移计算                                                                                                               尺寸范围

材料参数

性能 符号 参数 单位
压电常数 d33 600 10-12m/V
d31 -270 10-12m/V
g33 19.4 10-3Vm/N
g31 -9.2 10-3Vm/N
机电耦合系数 Kp 0.65 NA
Kt 0.37 NA
K31 0.38 NA
弹性常数 Y33 5.3 1010N/m2
Y11 7.2 1010N/m2
居里温度 Tc 220 °C
密度 ρ 7.8 g/cm3


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