压电陶瓷管扫描器是可以三维运动的压电陶瓷管,用于三维微扫描与定位,如AFM原子力显微镜等。
压电陶瓷管扫描器为壁厚比较薄,径向计划,外壁四个电极,内壁一体或者分区电极的压电陶瓷管,当外部施加一个电压到某一个区域时,陶瓷管垂直方向收缩,使陶瓷管顶部产生比较大的倾斜,同时施加电压会使陶瓷轴向或径向膨胀和收缩.
型号 | 长(mm) | 外径(mm) | 厚度(mm) | 电压(V) | 扫描范围(μm) | Z轴位移(μm) | 谐振频率[kHz] |
1005 | 10 | 5 | 0.66 | ±264 | 3.8 | 2.1 | 10 |
2005 | 20 | 5 | 0.66 | ±264 | 15 | 4.2 | 6.29 |
3507 | 35 | 7 | 0.66 | ±264 | 39 | 7.4 | 2.99 |
5009 | 50 | 9 | 0.66 | ±264 | 52 | 10 | 1.99 |
5509 | 55 | 9 | 0.6 | ±250 | 66 | 12 | 1.6 |
6006 | 60 | 6 | 0.65 | ±260 | 114 | 12 | 0.865 |
驱动方式与位移计算 尺寸范围
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材料参数
性能 | 符号 | 参数 | 单位 |
压电常数 | d33 | 600 | 10-12m/V |
d31 | -270 | 10-12m/V | |
g33 | 19.4 | 10-3Vm/N | |
g31 | -9.2 | 10-3Vm/N | |
机电耦合系数 | Kp | 0.65 | NA |
Kt | 0.37 | NA | |
K31 | 0.38 | NA | |
弹性常数 | Y33 | 5.3 | 1010N/m2 |
Y11 | 7.2 | 1010N/m2 | |
居里温度 | Tc | 220 | °C |
密度 | ρ | 7.8 | g/cm3 |