Novascan PSD Pro热控系列紫外臭氧表面清洗与表面活化系统、Novascan台式紫外臭氧清洗机PSDP-UVT

Novascan PSD Pro热控系列紫外臭氧表面清洗与表面活化系统、Novascan台式紫外臭氧清洗机PSDP-UVT
PSD Pro热控系列（PSDP-UVT）通过新增温控样品台，将Pro系列的效能提升至全新境界，可最大化清除分子级有机污染物。采用带PID反馈回路的数字控制器，能精准维持最高200°C的稳定温度（可选配300°C版本）。

产品特点
提供高性价比低位样品台型号及经典可调样品台高度型号

与PSDP配置完全相同，但出厂即预装温控样品台

提供最大潜能与操作灵活性

特别适合多用户共享环境使用

产品优势
诺瓦扫描PSD、PSDP及PSDP-热控系列紫外臭氧表面清洗与表面活化系统：
诺瓦扫描提供多款台式紫外臭氧清洗机型、系统规格及选配方案，满足不同应用需求与预算要求。

独特样品台支持360度操作并兼容薄型/高样品：
诺瓦扫描系统配备原创可调高度样品台，可精确设置紫外灯与样品的关键处理距离。可调高度机型可处理高达100mm的样品。另推出高性价比低位固定样品台系列，专用于处理高度低于15mm的薄型样品，同时保留原有系统的全部核心优势。

高性能高密度深紫外石英网格灯管：
采用顶级深紫外石英材质灯管，紧密排列的灯阵确保最大覆盖均匀性，对常规及特殊材料均能实现快速高效的表面清洁处理。

高度可升级与定制化系统：
诺瓦扫描提供丰富的紫外系统选配方案，既能满足当前应用需求，亦为未来需求预留空间。模块化设计使系统可持续升级，确保设备能力随项目发展同步拓展。可增配热控紫外模块（增强清洗应用）、大尺寸灯管（处理大样品）或臭氧抽排装置（实现在实验台安全操作而无需通风橱）。

多规格系统适配不同应用需求：
提供100x100mm（4×4英寸）至500x500mm（20×20英寸）多种尺寸，完美匹配样品尺寸与批量处理需求。

固定/可调高度系统选择：
固定高度机型适用于晶圆、显微镜载玻片、盖玻片、原子力显微镜探针等；可调高度样品台可处理最高4英寸（热控机型为3.5英寸）的高样品。

可靠性：
历经25年市场验证的高可靠性系统。

应用领域
有机污染物剥离与清除：
可快速清除硼硅玻璃、砷化镓、ITO导电玻璃、硅晶圆、玻璃、PDMS、原子力显微镜探针、聚合物等多种材料表面的油性有机污染物。

半导体晶圆清洗与表面清洁：
对所有类型半导体晶圆（硅晶圆、磷化铟(InP)晶圆、砷化镓(GaAs)晶圆、锗(Ge)晶圆、蓝宝石晶圆等）进行非破坏性表面清洁，无需昂贵的高真空系统、湿法工艺或有毒化学品即可获得理想效果。

扫描电子显微镜、透射电子显微镜、原子力显微镜与石英晶体微天平应用：
为SEM/TEM样品制备与清洁、AFM探针处理与重复使用、QCM传感器清洁提供解决方案，助力实现高分辨率成像、力测量、化学检测与分析。

玻璃表面清洁：
为细胞培养、显微镜观察、原子力显微镜检测、PDMS微流控键合等应用制备亲水性、无菌、洁净的玻璃表面。

表面改性、活化与预处理：
通过表面活化增强材料粘附性、键合性、润湿性及其他表面特性。

微流控器件处理：
用于微流控器件制造与键合过程中PDMS和玻璃元件的清洁预处理。

光刻胶剥离：
采用诺瓦扫描热控紫外处理工艺配合纯氧气，可对晶圆、硅、氮化硅、硼硅玻璃及半导体表面的光刻胶残留实现高效无损剥离。

UV 网格灯： 深紫外臭氧产生型汞蒸气网格灯，带反射罩。半衰期约 5000 小时。Novascan 的灯具不惜成本，采用最高品质、间距紧密的石英管材制造，以实现最高的透光率和最均匀的覆盖。

电子元件： Novascan 的紫外臭氧系统设计旨在实现长期可靠性，我们的许多紫外臭氧系统在运行 10 年甚至更长时间后仍完全正常。我们使用更高品质的组件，例如超强大且可靠的线性电源，而非廉价的开关电源。虽然制造成本更高，但 Novascan 认为，为了可靠性和安全性，使用经过 NTRL 认证的数字控制器、继电器、电源输入口及其他组件至关重要。所有系统均在美国组装。

模块化可升级设计： 在 Novascan，我们的使命是构建能够支持客户不断变化的应用程序和实验室需求的系统。因此，我们的设计高度模块化，允许将来升级到不同的灯管尺寸、增加选配件以及进行设计更新。

技术支持： 所有 Novascan 系统都得到 Novascan 无与伦比的技术支持体系的支持，该体系由硕士和博士级别的科学家和技术人员组成。

热紫外系统： 针对光刻胶剥离、聚合物键合等应用提供增强且更快速的处理，最高温度可达 200°C（可选 300°C）。

双面紫外系统： 可选配顶部和底部灯管，用于同时对样品的两面进行处理。

臭氧排空选件： 臭氧中和/消除装置，配备 PTFE 真空泵系统，用于在紫外处理循环完成后去除残留臭氧。该装置允许您在实验台面上安全操作紫外臭氧系统，而无需使用通风化学柜。另可提供自动臭氧排空功能。

电源： 100、120、220、240 VAC，50-60 Hz

安全特性： 安全联锁装置在腔室门打开时关闭紫外灯管。

样品高度： 所有系统均配备可调高度样品台和外部平台锁，以确保样品与灯管之间保持适当的距离。标准样品台的尺寸等于或大于紫外网格尺寸。

气体接口： 标配两个接口，可选配更多接口。

真空腔室： 可选定制——采用铝和石英材料制造。

紫外反射罩： 紫外反射罩通常比网格尺寸大 1 英寸。例如，对于 4×4 英寸的网格，反射罩尺寸为 5×5 英寸。

电源： 100、120、220、240 VAC，50-60 Hz

样品装载： 腔室从样品装载区向上铰链开启并移开，提供约 360 度的装载操作空间。

双面紫外： 可选配顶部和底部灯管，用于同时对样品的两面进行处理。

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