Novascan PSD-UV、PSDP-UV 和 PSDP-UVT UV臭氧清洗系统
Novascan 的 PSD 和 PSDP 系列 UV 臭氧系统已被全球成千上万用户使用，是经过验证、性能可靠的设备。
PSD 和 PSDP 系统在性能与外形尺寸上较为相似，但在控制器功能、可升级性以及加热载台选项方面存在差异。
PSD 系列
PSD 系列设备为数字控制的台式系统，尺寸范围从 4×4 英寸到 20×20 英寸 不等。
该系统配备高功率 UV 网格系统（带反射器）以及可调高度载台，可实现样品的最佳定位与处理效果。
在 4×4 英寸及以上型号 中，提供进/出气接口（Gas Ports）。
系统采用便捷的预设控制器，操作简单易用。
PSD Pro 系列（PSDP）
PSDP 系列为科研级 UV/臭氧清洗系统，具有更高的灵活性，适用于分子/有机物去除及多种应用。
可在环境空气中运行，也可通过两个标准气体接口通入氧气，以提高臭氧产量。
系统配备可编程数字控制器，可精确控制处理时间和最佳清洗参数。
PSD Pro 加热型（PSDP-UVT）
PSDP-UVT 在 PSDP-UV 基础上增加了温控载台，用于进一步提升有机分子材料的去除效率。
采用带 PID 反馈的数字控制系统，可精确维持稳定温度，最高可达 150°C（可选 200°C）。
特点对比
PSD 系列特点
- 预设式数字控制器
- 两键操作，简单方便
- 自动预设处理时间：15 / 30 / 45 / 60 / 90 / 120 分钟
- 处理过程可随时手动中断
- 不支持或不易升级为加热载台版本
- 结构经济实用，操作非常简单
- 安装与使用便捷
- 可选多种扩展功能（详见附件B）
PSDP 系列特点
- 可编程数字控制器，控制更灵活
- 数字倒计时显示
- 可轻松升级为加热型系统
- 具备暂停与中断功能
- 处理控制能力更强，工艺更精确
- 内部可存储历史参数设置
- 可选多种扩展功能（详见附件B）
PSDP-UVT 特点
- 与 PSDP 功能相同，并预装加热载台
- 提供最大灵活性与应用扩展能力
- 适用于多用户实验环境
- 可选多种扩展功能（详见附件B）
系统通用参数
- 电源：100 / 120 / 220 / 240 VAC，50–60 Hz
- 安全：开盖自动关闭 UV 灯的联锁保护系统
- 样品高度：所有系统均配备可调高度载台，并带外部锁定装置，确保与灯源的正确间距
- 气体接口：标准2个，可选更多
- UV网格：汞蒸气UV臭氧产生灯管，带反射器，寿命约5000小时
- 真空腔体：可选定制（铝+石英结构）
- UV反射器：尺寸通常比网格大1英寸（例如4×4网格对应5×5反射器）
- 热处理能力：增强型处理（光刻胶去除、聚合物键合等），最高150°C（可选200°C）
- 上样方式：腔体可向上翻起，提供约360°开放式装载空间
- 臭氧处理：可选臭氧中和器与泵系统，支持自动排放
- 双面UV：可选上下双UV灯，实现样品双面同时处理
| 系统型号 | 灯尺寸 | 样品高度 | 系统重量 | 外形尺寸（长×宽×高） |
|---|---|---|---|---|
| PSD-UV4 / PSDP-UV4 / PSD-UV4T | 4”×4” | ~4” | 41 lbs | 12 × 15.5 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV48 / PSDP-UV48 / PSDP-UV48T | 4”×8” | ~4” | 41 lbs | 12 × 15.5 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV8 / PSDP-UV8 / PSDP-UV8T | 8”×8” | ~4” | 41 lbs | 12 × 15.5 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV10 / PSDP-UV10 / PSDP-UV10T | 10”×10” | ~4” | 56 lbs | 15 × 17 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV12 / PSDP-UV12 / PSDP-UV12T | 12”×12” | ~4” | 56 lbs | 15 × 17 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV816 / PSDP-UV816 / PSDP-UV816T | 8”×16” | ~4” | 56 lbs | 15 × 17 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV1016 / PSDP-UV1016 / PSDP-UV1016T | 10”×16” | ~4” | 56 lbs | 15 × 17 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV1216 / PSDP-UV1216 / PSDP-UV1216T | 12”×16” | ~4” | 56 lbs | 26 × 28 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV1616 / PSDP-UV1616 / PSDP-UV1616T | 16”×16” | ~4” | 56 lbs | 26 × 28 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV1020 / PSDP-UV1020 / PSDP-UV1020T | 10”×20” | ~4” | 95 lbs | 26 × 28 × 10.5 英寸 |
| PSD-UV2020 / PSDP-UV2020 / PSDP-UV2020T | 20”×20” | ~4” | 95 lbs | 26 × 28 × 10.5 英寸 |
应用范围
- 表面原子级清洗
- 晶圆清洗
- 光刻胶去除
- 聚合物（PDSM、COC、PS等）键合处理
- 薄膜制备前处理
- LCD 清洗
- 有机污染物去除
- 捕获无机分子释放
- 微流控器件制造
- AFM探针清洗
- 微纳结构加工
- UV胶水、油墨固化
- 表面化学改性
- 灭菌处理
- 表面氧化
- 金属键合前处理等
样品应用说明
除上述用途外，Novascan PSD 系列设备还广泛用于扫描探针显微镜（SPM）相关实验。可有效去除 AFM 探针、SPM标准样品及表面的油污薄膜和无机残留物。
同时，该处理可用于改变表面疏水性，辅助探针及表面的化学改性，使探针发生轻微氧化与硬化，从而在扫描过程中保持形貌稳定，并可对探针进行“锐化”，提升横向分辨率。
Novascan 设备广泛应用于纳米技术、化学、生物、光学、电子、半导体及各类科研实验室领域。
仪器特点
- 操作简单
- 高可靠性
- 性能稳定
- 成本适中
可处理样品基底材料
- 硅
- 氮化硅
- 硼硅玻璃
- 二氧化硅
- 云母
- 石英
- 金属材料
- 陶瓷材料
- 蓝宝石
- 砷化镓
- 各类聚合物（如 PDSM）
- 其他材料
