气相源
我们的电子冲击离子源可以从很多气体中产生离子，包括氢气， 氦氖，氩、氙和氮。可选配的Thoria涂层灯丝，也可以产生氧气离子。根据所需的束流大小和光斑大小，可以选择不同的几何形状离子源。
固相源
在常温下是固体的材料，通过使用烤箱将材料蒸发到电子冲击离子源的源区域，可能产生需要的离子。材料由Tin和其他材料只能。此外，C60和其他有机离子也已成功生成。离子源使用期通常为10e4 nA 小时。
碱金属源
在常温下是固体的材料，通过使用烤箱将材料蒸发到电子冲击离子源的源区域，可能产生需要的离子。材料由Tin和其他材料只能。此外，C60和其他有机离子也已成功生成。离子源使用期通常为10e4 nA 小时。
