MDC可烘烤真空角阀，直列阀 MDC可烘烤超高真空角阀，直列阀

MDC可烘烤全金属角阀和直列阀设计用于超高真空环境，在这种环境中，高温会阻止使用弹性体和低温垫片金属。这些阀门可提供从大气压到10 ^-11 Torr 以下的可靠高温密封。在可能的情况下，为了尽可能减少潜在泄漏路径的数量，已经取消了阀帽垫片密封。装有阀盖密封的阀的设计便于更换垫片。阀帽安装的阀上阀体端口的尺寸和方向不允许通过其端口移除垫圈。 

当在环境温度下运行时，全金属阀门可在常规提升阀芯垫圈更换之间提供数百次无泄漏循环。在高温应用中，寿命周期与烘烤温度成反比。在最高烘烤温度450°C下操作时，提动阀芯密封垫圈的寿命缩短至大约50个打开/关闭循环。

密封设计
真空密封是通过将提升阀的OFE铜垫圈压在锥形不锈钢刀刃座上来完成的，如右上图所示。密封压力会使铜制垫圈变形，该垫圈与锥形刀口座一致。在热循环过程中，阀的加载机构抵消了部件的差膨胀，以保持密封完整性所需的均匀压力。 

提动
阀芯垫圈的更换必须通过从系统上卸下阀来更换1-1 / 2“和2-1 / 2”全金属角阀的提动阀垫圈，因为这两个阀都有焊接的阀盖。一旦从系统上拆下，只需将标准刀片螺丝刀插入底部端口并旋松铜垫片，即可轻松完成垫片更换，然后将铜垫片从阀的侧端口抽出。3/4“角阀和所有直通阀均配有阀帽密封件，不需要完全从系统上拆下以更换垫圈。通过从阀体上拆下阀帽法兰，即可完成垫圈的拆卸和更换。打开垫圈后，可通过标准刀片螺丝刀拧松螺钉轻松拆卸。

密封扭矩
全金属阀门中的第一个密封或封闭会导致纯铜垫片发生塑性变形，从而留下永久的印痕。第一次密封是在工厂制造的，然后以准备安装的密封状态运送给客户。破坏该密封件后，可以根据规格表中的“ Poppet密封扭矩”数据对阀门加扭矩来重新密封。为了帮助后续的密封循环过程，每个阀体的顶部都装有一个径向刻度的游标板。游标板可为先前和后续的循环或扭矩位置提供视觉提示。

阀门兼容性
MDC提供兼容瓦里安和真空发生器（VG）的全金属角阀和直列阀。每个产品表中的“阀门类型”列中的“瓦里安兼容”阀门都标记为“ V”。真空发生器兼容的阀门在阀门类型栏中以“ VG”标记标识。兼容性在本文中定义为用MDC全金属阀门替换或互换瓦里安和/或真空发生器阀门的能力。兼容性仅限于装有Del-Seal™CF端口法兰的阀门，并且仅限于端口到端口的尺寸特性。换句话说，从任何阀的法兰端口中心线到相对的端口的法兰面的尺寸都与Varian和VG阀直接等效。其他MDC全金属阀门尺寸可能与Varian和Vacuum Generators产品上的尺寸有所不同。