Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器,独立边缘处理预对准器，适用于200mm晶圆,减小接触的边缘处理预对准器，适用于200mm晶圆
对准能力：标准200mm晶圆，200mm平晶圆，透明及半透明基板
接触区：边缘接触，接触宽度为1mm
减小接触的边缘处理预对准器能够容忍更大的初始偏移量（最多可达6mm）。
美国,Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器规格：
美国,Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,独立边缘处理预对准器尺寸：
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